Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #293813033 à vendre en France
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ID: 293813033
Taille de la plaquette: 6"
Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) system, 6".
NOVELLUS CONCEPT One-150 est un réacteur haute performance utilisé pour le traitement avancé des semi-conducteurs. En utilisant les procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de dépôt par couche atomique (ALD), NOVELLUS CONCEPT ONE 150 peut être utilisé pour déposer des couches minces sur et à l'intérieur des substrats. Il s'interface avec une variété de gaz de procédé, de matériaux de substrat et de systèmes antipollution, ce qui en fait un outil polyvalent et adaptatif pour la fabrication de structures nanométriques. CONCEPT ONE - 150 est basé sur une conception durable et éprouvée de réacteur XeF2 qui assure un traitement fiable et reproductible pour diverses applications de dépôt de films. La chambre de réaction est elle-même constituée des éléments suivants : la chambre, l'ensemble du couvercle, un compartiment source, une alimentation, un système de distribution et de distribution de gaz, un orifice d'échappement de gaz, des orifices d'échantillonnage et la chambre de traitement. Tous ces composants peuvent être personnalisés pour améliorer les taux de dépôt et accélérer la croissance des matériaux. CONCEPT One-150 est capable de déposer des réactifs à des vitesses de pointe de 150x10-6 Torr, permettant une fabrication plus rapide de l'appareil et un meilleur débit. En outre, les procédés de dépôt sans hydrogène sont également supportés, ce qui offre une sortie rentable pour les conceptions avancées de semi-conducteurs. NOVELLUS CONCEPT ONE - 150 est conçu pour être simple à utiliser et à entretenir, avec une automatisation optionnelle et des interfaces homme-machine faciles à comprendre. Il est également équipé de diagnostics à la fine pointe de la technologie tels que des tests de fuite programmables et des plages de réglage automatique, qui garantissent des conditions optimales sont toujours maintenues. CONCEPT ONE 150 est également livré avec une variété de protocoles de sécurité afin de protéger le personnel et les biens, y compris la suppression avancée des incendies, le contrôle du niveau de vide, l'arrêt automatique et les systèmes de contrôle de pression. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT One-150 offre un réacteur monobloc polyvalent et fiable capable de produire des couches minces uniformes et sans défaut. C'est une solution idéale pour une gamme d'applications avancées de traitement des semi-conducteurs qui exigent une précision, une vitesse et une répétabilité élevées.
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