Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248601 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un réacteur CVD/ALD (Chemical Vapor Deposition/Atomic Layer Deposition) à chambre unique, de type discontinu, adapté à la recherche et au développement ainsi qu'une gamme complète de procédés avancés de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Le One-150 offre un design compact, permettant une intégration à la fois dans les systèmes de traitement manuel et les outils de cluster automatisés. La chambre du réacteur est revêtue d'acier inoxydable SUS316 et fournit un couvercle supplémentaire léger en alliage d'aluminium. Les dimensions de la chambre sont 150mm (Ø) x 150mm de profondeur, et il peut contenir jusqu'à 30 plaquettes avec 6 pouces de diamètre (200mm) ou 12 plaquettes avec 4 pouces de diamètre (100mm). Il est équipé d'un équipement de chauffage RF fermé, permettant des températures uniformes jusqu'à la pression atmosphérique ou plus bas. Il existe un système d'écoulement des gaz combustibles qui supporte un large éventail de gaz, y compris les comburants, les réducteurs, les nitrures et les fluorures, et les chambres spéciales peuvent traiter des matériaux extrêmement réactifs. Le réacteur est équipé d'un chuck électrostatique (ESC) à faible charge pouvant contenir jusqu'à six plaquettes par lot. L'ESC est également facilement automatisé et peut être configuré manuellement ou intégré dans un outil de cluster. La source est conçue pour permettre l'expédition de sources à partir d'un même réacteur, permettant la présence de plusieurs précurseurs. L'unité de commande comprend une commande fine de la tension du réseau ESC et un affichage en temps réel de tous les paramètres critiques. Une machine à gaz haute pression permet des changements rapides de pression, ce qui permet un traitement court. Le réacteur offre également des vitesses et des températures de dépôt contrôlables, ainsi qu'un temps de traitement total réglable. Le One-150 permet des capacités de traitement multitechniques avancées, avec la capacité d'effectuer simultanément le recuit, l'oxydation, le dépôt et la gravure. Il peut également soutenir des processus plus complexes tels que les dépôts atmosphériques et en ligne, la gravure, l'oxydation, la gravure, le dépôt et les applications nanotechnologiques. En outre, sa conception facilite également l'intégration dans les systèmes de cluster. En résumé, NOVELLUS CONCEPT ONE 150 est un réacteur CVD/ALD efficace et compact, doté de capacités de traitement multifonctions avancées et d'une intégration facile avec les systèmes de grappes. Le contrôle granulaire des taux de dépôt et de la température, la fiabilité de l'outil de chauffage RF et la précision de la conception du flux de gaz de combustible font de cet atout adapté à la recherche et au développement et aux processus de fabrication de dispositifs à grande échelle.