Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #9248603 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) conçu pour être utilisé dans la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il offre un traitement précis des matériaux tels que les films de silicium polycristallin, d'oxyde de silicium et de nitrure d'aluminium et de titane (AlTiN). Avec une livraison et un contrôle optimisés des sources, NOVELLUS CONCEPT ONE 150 est capable de déposer des couches précises et uniformes avec une résolution d'épaisseur aussi faible que 4 nanomètres. Il fournit des résultats cohérents et reproductibles pour la production à grande et à petite échelle. CONCEPT ONE - 150 est conçu pour améliorer la productivité et est compatible avec une large gamme de substrats en silicium de type n et p. Son équipement exclusif assure la livraison d'un flux continu de produits chimiques sans fuite ni impuretés indésirables. La livraison de produits chimiques est également contrôlée avec précision par le système, permettant des couches cohérentes avec une uniformité inférieure à ± 2 %. La chambre de réaction de CONCEPT One-150 est conçue pour un mélange rigoureusement contrôlé et efficace de gaz source, permettant des réactions efficaces et une meilleure qualité de film. La réaction dans NOVELLUS CONCEPT ONE - 150 est contrôlée avec un logiciel de pointe. Il dispose d'une suite puissante et robuste de capacités de contrôle de processus, permettant le contrôle en temps réel, la collecte de données et l'analyse. L'unité d'affichage du CONCEPT ONE 150 est conçue pour un fonctionnement intuitif, permettant aux opérateurs d'accéder et d'interpréter rapidement les informations nécessaires pour maintenir le processus souhaité. Les diagnostics avancés, y compris la vidéo en ligne de la chambre de réaction, fournissent une analyse détaillée des performances. La machine est également conçue avec des caractéristiques de sécurité telles que la protection contre les surpressions, les systèmes de surveillance de l'environnement et la surveillance active de l'ozone. NOVELLUS CONCEPT One-150 offre la capacité de traiter des couches de dimensions sous-nanométriques, permettant la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. Il a été utilisé avec succès dans diverses applications de CVD, par exemple le dépôt de portes de nitrure d'aluminium pour un procédé VLSI avancé. L'outil offre une répétabilité améliorée pour l'optimisation et le débit du procédé, permettant une production plus rapide et plus fiable. NOVELLUS CONCEPT ONE 150 est un exemple de technologie CVD de pointe pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe.