Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250099 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) monobloc. Il est conçu pour le dépôt de différents matériaux diélectriques et conducteurs sur des substrats dans des conditions de contrôle précises. Le réacteur emploie une serrure monobloc, un distributeur de tête de douche, un collecteur de drain de gaz, deux sources RF et une turbine à fréquence radio (RF). Le loadlock monobloc permet à NOVELLUS CONCEPT ONE 150 de traiter un substrat à la fois. Le système est conçu avec des chemises à changement rapide, ce qui permet de transformer rapidement la chambre de procédé en une nouvelle recette sur demande. Le loadlock est également muni d'un four pour permettre une cuisson thermique contrôlée du substrat avant l'amorçage d'un dépôt. De plus, un système sophistiqué de commande de pompe assure le maintien précis de la chambre à la pression atmosphérique avant le chargement final du substrat. Ensuite, le distributeur de tête de douche répartit uniformément le gaz de procédé sur la surface de la plaquette pour assurer un dépôt uniforme du film. Cette répartition de précision est réalisée en utilisant trois voies d'écoulement indépendantes, chacune avec 30 ports de sortie distincts. Le contrôle du débit est amélioré par la source et la turbine RF à double voie, qui sont utilisées pour créer une distribution plus uniforme à des débits plus élevés. Après la distribution initiale, le gaz est évacué du réacteur par le système de drainage de gaz à deux étages. La première étape assure que le gaz est rapidement retiré du substrat et évacué de la chambre. La deuxième étape utilise une chambre de recirculation qui capture le contaminant résiduel pour une analyse plus approfondie. Enfin, la turbine à fréquence radio (RF) crée un champ magnétique et électrique alternatif à l'intérieur du réacteur. Ce champ alternatif permet aux électrons d'osciller, créant un état de haute énergie idéal pour le placage des atomes des sources de gaz vers le substrat. En conclusion, le CONCEPT ONE - 150 est un réacteur CVD monobloc polyvalent conçu pour le dépôt précis de divers matériaux. Il est équipé d'un loadlock monobloc, d'un distributeur de tête de douche, d'un collecteur de vidange de gaz, de deux sources RF et d'une turbine RF. Ces composants travaillent ensemble pour créer des dépôts parfaitement uniformes avec une contamination minimale et des taux de processus plus rapides.