Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #9250100 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 (C1-150) est un réacteur CVD vertical conçu pour une production à haut volume et à haut débit. Le C1-150 offre flexibilité et fiabilité, avec une automatisation configurable, des paramètres de processus personnalisables et une conception simplifiée. Le C1-150 est construit avec une construction robuste et des composants lourds, lui permettant de gérer des pressions extrêmes allant jusqu'à 20 Torr (2,7 kPa) et des températures allant jusqu'à 2000 ° C Le C1-150 dispose d'une chambre de réacteur à basse pression verticale variable, équipée d'un équipement de pompage intégré, d'un système de surveillance thermique haute performance et d'une unité de conservation à basse température. Il peut accueillir trois sources de dépôts, y compris des environnements liquides, gazeux et en phase vapeur, et peut fonctionner jusqu'à 14 heures à la fois. Le C1-150 offre quatre capacités disponibles : PAD (Planar-Array Deposition), une capacité de 21 pouces wafer ; COP (Closed-Loop Oxyde Processing), une capacité de 200 microns d'épaisseur ; Etch diélectrique, une capacité de 10 microns de profondeur ; et Metal Etch, une capacité de 1 micron de profondeur. Le C1-150 est équipé d'une machine SCADA (contrôle de supervision et acquisition de données), permettant aux utilisateurs de contrôler l'outil, de surveiller les paramètres de processus utiles en temps réel, et d'intégrer dans les systèmes existants. Le C1-150 est également équipé d'une architecture de source entièrement automatique pour un contrôle optimisé du processus, capable d'auto-compenser pour maintenir la stabilité du processus. Il dispose d'un atout de contrôle avancé, offrant une gamme configurable de paramètres et stockant en toute sécurité des données pour jusqu'à 99 recettes. Le C1-150 est conçu pour la fabrication de salles blanches, avec un environnement de fonctionnement à pression et température contrôlées pour assurer la stabilité du processus de haut niveau. Il supprime les fonctions de sécurité configurables telles que les soupapes de surpression, les mécanismes de protection contre la température et les régulateurs de température numériques. Le C1-150 est également équipé d'un modèle d'épuration des particules, d'un équipement de nettoyage à l'oxygène ionisé, d'un système d'injection d'ozone et d'un filtre HEPA. Ses systèmes de sécurité avancés, associés à la bibliothèque intégrée de recettes de processus, permettent aux utilisateurs de personnaliser le C1-150 pour répondre à leurs besoins spécifiques.