Occasion NOVELLUS CONCEPT One-150 #9311436 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One-150 est un réacteur ultra-basse pression leader dans l'industrie, spécialisé dans les procédés CVD et MVG. Il offre un contrôle supérieur et la répétabilité des conditions, et offre une gamme complète d'options de processus permettant une production avancée. Ce réacteur est conçu pour des applications de fabrication à l'échelle pilote et à l'échelle de production. NOVELLUS CONCEPT ONE 150 dispose d'une chambre en polymère avec une capacité volumique pouvant atteindre 150 litres. Il offre également une gamme complète de paramètres de contrôle de processus, y compris la pression, la température et le débit de gaz. L'équipement est configuré avec jusqu'à deux bobines chauffées et refroidies, un système de filtration à balayage et une plate-forme de pression flexible qui répond aux exigences de processus et de sécurité. De plus, l'unité comprend une gamme de capacités diagnostiques avancées, des outils de métrologie intégrés et une analyse en temps réel de la qualité des produits. CONCEPT ONE - 150 est simple à utiliser et peut être utilisé pour traiter une variété de matériaux dont Si, Ta, Al et Ni. Divers procédés peuvent être exécutés simultanément, tels que le dépôt, l'oxydation, la pulvérisation et la gravure chimique. Des procédés avancés tels que le plasma à couplage capacitif (CCP) et le plasma à couplage inductif (ICP) sont également possibles. La machine dispose d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui permet un contrôle et une surveillance simples des processus. Il est également équipé d'un large éventail d'outils avancés d'acquisition de données, y compris la microscopie optique, la spectrométrie FTIR et l'analyse des gaz résiduaires (RGA). Ces outils aident à surveiller et à vérifier les conditions du processus. CONCEPT ONE 150 est un outil puissant et fiable pour garantir la haute qualité et la répétabilité des performances des processus. Avec son large éventail d'options de processus et d'outils de surveillance intégrés, l'outil est idéal pour la production de masse de circuits intégrés et d'autres dispositifs microélectroniques.