Occasion NOVELLUS CONCEPT One-200 #293763726 à vendre en France
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ID: 293763726
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1992
PECVD System, 8"
Process: SiO2 / TEOS
Gas: N2, O2, C2F6
EBARA AA10 Pump
EBARA AAS200WN
Transformer
Power system
1992 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One-200 est un outil unique et révolutionnaire de gravure/dép pour les nœuds de technologie avancée. Il est conçu pour la fabrication en grand volume de dispositifs et de puces de pointe en circuit intégré (IC). Cet outil de gravure/dep offre une homogénéité supérieure à l'intérieur et à l'extérieur de la plaquette, ce qui donne d'excellentes performances, rendements et fiabilité de l'appareil final. L'équipement utilise une technologie de gravure ionique réactive à base de plasma (RIE) et de dépôt métallique (CVD), qui utilise du plasma à haute concentration pour graver et déposer des matériaux. Le plasma, qui est produit avec une grande source d'énergie, permet un contrôle plus précis du processus de gravure, permettant une gravure plus profonde et plus régulière dans des zones spécifiques du CI. Le plasma permet également de déposer des matériaux plus précisément, ce qui conduit à une couche métallique plus fine et plus uniforme. Le système dispose également d'une unité de manutention avancée des plaquettes qui utilise des bras robotisés sophistiqués pour déplacer et faire tourner les plaquettes avec précision, permettant un réglage précis de la position et assurant une condensation à très basse température des espèces plasmatiques lors du transfert de la plaquette vers la chambre de procédé. Cela permet d'augmenter l'homogénéité des matériaux et d'augmenter le nombre de couches et d'améliorer les performances du dispositif. CONCEPT One-200 utilise une conception modulaire, qui se compose de trois chambres de processus, une chambre de transfert et une chambre de processus sous-atmosphérique. Ceci permet le dépôt et la gravure simultanés sur une seule plaquette dans chacune des trois chambres de procédé, offrant ainsi un procédé de fabrication très efficace et rentable. L'outil est également capable de gérer plusieurs plaquettes simultanément, ce qui augmente le débit de la machine. L'outil a également un atout de refroidissement avancé pour réguler la température à l'intérieur des chambres et assurer des conditions de processus uniformes sur l'ensemble de la plaquette. Cela aide à réduire la contamination par les particules et peut même prolonger la durée de vie des outils de gravure/dép. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT One-200 est un outil révolutionnaire de gravure/dép qui peut amener la fabrication de haute production de IC au niveau supérieur. Il offre une homogénéité et des rendements supérieurs tout en permettant de traiter plusieurs plaquettes en parallèle. Le modèle avancé de manutention des plaquettes et la conception modulaire contribuent à accroître encore son efficacité et son rapport coût-efficacité.
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