Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9026266 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur de nouvelle génération conçu pour être évolutif et adapté aux besoins uniques d'une industrie des semi-conducteurs en pleine croissance. Il s'agit d'une source EUV à paroi froide qui permet la fabrication précise de composants utilisés dans la fabrication moderne de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de produire des densités de puissance allant de 150 à 400 mW/cm2 sur une large surface de 1m x 1m avec une longueur moyenne de cohérence sur cette zone de 40 cm. Cette densité de puissance est capable de conduire les systèmes EUV à haut rendement jusqu'à une résolution de 0,15 nm. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE dispose d'un équipement intégré d'injection de gaz qui fonctionne avec une technique automatisée de mélange de gaz qui lui permet de produire une sortie laser améliorée avec chauffage de la cavité laser. Ce profil thermique constant améliore la focalisation du faisceau laser et permet un contrôle précis du procédé. Il garantit en outre que le procédé est répétable et stable, ce qui donne un rendement plus élevé et un meilleur additionneur de procédé. CONCEPT One dispose également d'un refroidisseur actif en circulation qui maintient le laser, le milieu amplificateur et l'optique sur le réacteur à des températures constantes. Ce système de gestion thermique fonctionne avec les systèmes de diagnostic in situ et de refroidissement en retour pour améliorer la stabilité de sortie du réacteur, permettant un réglage fin des paramètres du procédé. CONCEPT ONE dispose en outre d'une unité de diagnostic in situ qui permet de mesurer l'évolution temporelle des propriétés du faisceau au cours du cycle de fabrication. Ceci assure une sortie de faisceau précise et minimise les dommages à l'optique dans le temps. En outre, le réacteur dispose également d'une source EUV à haut rendement, ce qui crée un moyen plus efficace de transfert d'énergie du laser vers l'optique et donc de réduction de la consommation d'énergie. NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur source EUV optimisé qui est capable de propulser l'industrie des semi-conducteurs vers le succès. Ses systèmes de contrôle de la puissance et de la température, ses diagnostics in situ et sa machine intégrée d'injection de gaz en font un produit fiable et robuste, hautement efficace et adapté aux besoins difficiles de l'industrie des semi-conducteurs.