Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9096031 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur à haut débit à base de plasma spécialement conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de fournir des solutions de processus dans un environnement monobloc, ce qui permet une productivité, une uniformité et une évolutivité accrues pour les fabs. NOVELLUS CONCEPT ONE est alimenté par Drossom, une source brevetée de plasma à arc à basse température qui fournit un flux d'ions ultra-élevé (jusqu'à 10 ^ 20 ions/cm2/sec). Cela lui donne la capacité de pré-nettoyer et d'améliorer les surfaces des plaquettes avant le traitement du plasma. Il est le seul du genre à offrir ce flux d'ions ultra-élevé tout en conservant un faible coût total de propriété. CONCEPT One dispose également d'un module de pré-nettoyage Pulsar, qui assure un traitement à haute température en utilisant une seule chambre de procédé à basse pression. Ce module peut être utilisé pour traiter des défis tels que le dépôt de carbone et la perte de rendement induite par le modèle. Il permet également à l'utilisateur d'augmenter le débit de traitement et d'obtenir des niveaux plus élevés d'uniformité de film. CONCEPT ONE a une architecture distribuée, avec quatre réacteurs combinant deux ou quatre procédés pour un débit maximal. Cela permet une mise à l'échelle rapide et soutient des processus avancés tels que le dépôt de silicium polycristallin et le dopage. Le réacteur est très précis et utilise des algorithmes d'automatisation avancés pour une optimisation et une répétabilité rapides. NOVELLUS CONCEPT One est une plate-forme révolutionnaire pour la fabrication de semi-conducteurs de nouvelle génération, avec une combinaison sans précédent de contrôles de processus très précis, une uniformité exceptionnelle et un débit rapide. Il offre une solution idéale pour une capacité de fabrication à haut volume et est le seul réacteur à haut débit conçu pour les technologies de traitement avancées.