Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9101005 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur révolutionnaire capable de fournir des procédés de passivation et de gravure à haute performance, à haut débit et à basse température dans un seul équipement. Il est le premier du genre dans l'industrie et est conçu pour relever les défis les plus complexes de l'industrie - des dispositifs logiques avancés aux structures de contact à haut rapport d'aspect dans les emballages avancés. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE fonctionne avec une combinaison unique d'une hotwall à 1400 ° C, une capacité de gravure d'isolation de tranchées peu profondes (STI) et une manipulation de substrat à haut débit. La hotwall produit des taux élevés de dépôt, de basses températures de processus thermique, et une activité chimique limitée. Cela permet un saut plus rapide vers les nœuds de la nouvelle technologie et d'améliorer les rendements des appareils dans les applications les plus avancées. La gravure d'isolation des tranchées peu profondes (STI) est conçue pour offrir des caractéristiques de haute qualité et de rapport d'aspect élevé sur les caractéristiques des puces. La manipulation du substrat à haut débit du système permet de tracer plus d'une centaine de plaquettes par heure. Cette capacité de gravure haute performance améliore le rapport d'aspect critique et la qualité d'image globale sans sacrifier le débit. La flexibilité du réacteur CONCEPT One permet également une utilisation à la fois dans l'atmosphère de bande et de production. L'unité VPC (Variable Pressure Chamber) permet une interface dynamique entre l'utilisateur et la chambre pour s'assurer que toutes les variations des conditions environnementales sont traitées en temps réel pour assurer la qualité du produit. Ceci se fait à la fois en adaptant les flux de vide et de gaz sur le substrat à l'entrée externe de l'application. Le CONCEPT ONE est également équipé de plusieurs fonctionnalités avancées de haute performance. Il est capable de fournir la rétroaction de suivi de processus, ainsi que la rétroaction de performance grâce à l'utilisation d'un tableau de capteurs dédié. Cela permet à la machine de s'auto-ajuster à l'environnement de processus changeant afin de maintenir les performances ultimes de l'application. De plus, les capacités d'auto-apprentissage de l'outil lui permettent d'optimiser les paramètres de chaque application spécifique. Ensemble, le réacteur NOVELLUS CONCEPT One conduit la passivation et la gravure à de nouveaux niveaux, offrant un rendement de haute qualité plus rapide que jamais. De nouveaux potentiels de performance sont rendus possibles avec NOVELLUS CONCEPT ONE et ses fonctionnalités de pointe.