Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9144774 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur monobloc de haute performance conçu pour les procédés avancés de dépôt et de gravure dans la fabrication de semi-conducteurs. En utilisant une nouvelle architecture monobloc, NOVELLUS CONCEPT ONE offre un contrôle et des rendements supérieurs, avec une symétrie et une uniformité optimisées. CONCEPT One est conçu pour réduire le nombre de particules et est équipé de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. Il dispose d'une conception modulaire monobloc avec un substrat chauffé pour maximiser l'uniformité, et un équipement de débit de gaz avancé pour assurer un contrôle précis de la pression et des débits. CONCEPT ONE a une conception de chambre à vide de quatre quadrants et des chambres séparées pour chaque processus afin de minimiser la contamination croisée. Il comprend également un mécanisme de transport unique avec quatre transporteurs indépendants, ce qui améliore le débit et l'uniformité des plaquettes. En outre, NOVELLUS CONCEPT One dispose d'un système moteur et d'un tableau de commande qui permet un contrôle de la température et de la pression amélioré. Pour les dépôts, NOVELLUS CONCEPT ONE supporte un large éventail de substrats et de matériaux, y compris des films conducteurs et non conducteurs. Le réacteur dispose d'un cadre en céramique refroidi à l'eau réglable et d'un microscope optique avancé qui assure un alignement précis. L'unité comprend également un poste d'inspection de surface automatisé du substrat pour assurer la répétabilité et l'uniformité. Pour la gravure, CONCEPT One est conçu pour des coûts opérationnels réduits, des rendements améliorés et une uniformité supérieure des plaquettes. Le réacteur dispose d'une nouvelle source de plasma inductivement couplée, qui est conçu pour réduire les dommages plasmatiques et améliorer la couverture des étapes. En outre, le réacteur supporte une variété de produits chimiques de gravure, y compris les produits chimiques humides et secs. CONCEPT ONE est également équipé d'une machine de contrôle de processus avancée qui fournit un aperçu en temps réel de l'ensemble du processus. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus, de mieux comprendre les conditions du processus et d'optimiser les paramètres du processus. Cette fonctionnalité permet également de calibrer et de traiter plus rapidement les temps de mise en place. NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur monobloc hautement avancé et performant conçu pour les applications les plus exigeantes. Il présente un design nouveau et des caractéristiques avancées, qui permettent une performance et une uniformité supérieures dans les processus de dépôt et de gravure. NOVELLUS CONCEPT ONE est idéal pour les applications semi-conductrices et autres technologies de pointe.