Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9144937 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One
Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT One
ID: 9144937
Taille de la plaquette: 6"
CVD Systems, 6".
NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur de gravure et de dépôt haute vitesse et haute performance conçu pour être utilisé dans le processus avancé de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de pointe pour produire des dépôts et des gravures de films de qualité et à faible coût dans une variété de matériaux tels que le silicium, le germanium, le cuivre, l'aluminium et d'autres matériaux. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE a une conception unique qui offre une grande surface de traitement d'une seule plaquette à grande vitesse tout en conservant une faible empreinte. Cela permet l'utilisation la plus efficace de l'espace dans l'usine. CONCEPT One dispose d'un équipement de régulation de température avancé qui comprend un régulateur de température auto-ajusté et une polarisation en courant continu (DC). Ce système avancé de régulation de la température réduit l'instabilité de la chambre sous des charges variables, diminuant ainsi la possibilité de dommages thermiques. Le réacteur CONCEPT ONE dispose également d'une unité de contrôle de débit haute vitesse et haute précision pour assurer des vitesses de dépôt de film précises. Cette machine permet le dépôt le plus uniforme et le plus réactif des films à la surface de la plaquette. De plus, le réacteur dispose d'un générateur de plasma performant. Ce générateur est conçu pour fournir des concentrations élevées d'espèces réactives à la surface de la plaquette qui gravent efficacement les films minces. NOVELLUS CONCEPT Un réacteur comprend également une chambre de verrouillage de charge et un outil de gestion de charge/déchargement. Cet atout simplifie le processus de chargement et de déchargement des plaquettes dans et hors du modèle, ce qui augmente la productivité et la sécurité dans l'environnement de l'usine. Le dégazage, les conduites d'injection de gaz et les contrôles de sécurité sont également inclus pour la sécurité des opérateurs. Enfin, le réacteur est livré avec une interface utilisateur logicielle puissante qui rend l'équipement facile à utiliser et à programmer. Cela permet des fonctionnalités telles que la surveillance et le diagnostic en temps réel, les recettes, le fonctionnement et le contrôle à distance, et l'enregistrement des données. L'interface utilisateur prend également en charge la configuration multi-étapes et la personnalisation du système pour un maximum de facilité d'utilisation. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT ONE est un réacteur puissant et fiable conçu pour la gravure et le dépôt de haute qualité et de haute précision dans une variété de matériaux. Son unité de régulation de température avancée, son contrôle précis du débit et son générateur de plasma haute performance en font le choix idéal pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs avancés d'aujourd'hui.
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