Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9148238 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est un nouveau dispositif révolutionnaire conçu pour améliorer la production de semi-conducteurs. Il s'agit d'un réacteur à dépôt physique en phase vapeur (PVD) qui offre un contrôle accru et une précision de procédé significativement plus élevée que les systèmes traditionnels. La conception à plusieurs chambres du réacteur comprend un corps principal de chambre, un chauffe-substrat rotatif et un couvercle chauffé, assurant des températures constantes tout au long de la réaction. Le corps principal du réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE dispose d'un système intégré de manutention des plaquettes composé d'un plateau encoche et d'un chargeur/déchargeur pour assurer un chargement et un déchargement rapides et précis des plaquettes. Il permet également un contrôle positionnel du plateau pour assurer un processus de dépôt exact. Le chauffe-substrat rotatif est conçu pour limiter le choc thermique aux plaquettes, ce qui permet une meilleure répétabilité du procédé et un meilleur contrôle du processus de dépôt. Le couvercle chauffé fournit quatre zones de température indépendantes sur la longueur thermique de la chambre. Grâce à cette caractéristique, chaque zone peut être exploitée indépendamment pour la flexibilité du procédé et la capacité de gérer avec précision le chauffage des plaquettes. Le couvercle chauffé réduit également considérablement la masse thermique de l'intérieur de la chambre, ce qui entraîne une élévation rapide et même interne de la température. CONCEPT Un réacteur est conçu pour assurer la mesure directe de la température et le contrôle des températures associées au plateau et au substrat. Cela permet d'assurer un processus de dépôt plus précis et répétable. Ce système de commande avancé permet également une large gamme de paramètres de commande tels que la pression de la chambre, le courant de pulvérisation, la puissance RF et l'adaptation RF. Cela garantit un haut degré de répétabilité et de fiabilité des processus. Le réacteur CONCEPT ONE est un système PVD extrêmement avancé qui offre un contrôle et une précision de procédé sans précédent. Avec sa conception à plusieurs chambres, ses zones de température indépendantes, sa mesure directe de la température et une large gamme de paramètres de contrôle, NOVELLUS CONCEPT ONE est un réacteur sans brainer pour quiconque cherche à améliorer considérablement l'efficacité de sa chaîne de production.