Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9149818 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One
Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT One
ID: 9149818
Taille de la plaquette: 6"
PECVD System, 6".
NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est un outil de fabrication de nouvelle génération conçu pour offrir des performances et une flexibilité d'équipement supérieures grâce à une conception innovante. Au cœur, le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est un système de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute température conçu pour offrir des performances supérieures grâce à des fonctions telles que le refroidissement rapide du substrat, un contrôle supérieur de la température et du processus, un échange rapide du substrat et des cycles thermiques courts. Le réacteur est conçu pour maximiser la flexibilité et la capacité du processus grâce à des fonctionnalités telles que plusieurs outils de tête de processus et plusieurs chambres de processus, fournissant la capacité de traiter jusqu'à quatre recettes de processus différentes simultanément. L'unité est compatible avec une variété de matériaux et de substrats, y compris le silicium standard, l'arséniure de gallium, le nitrure, et plus encore. La machine est également capable de manipuler une grande variété de paramètres de processus pour chacun des matériaux. CONCEPT L'outil de régulation de la température d'un réacteur garantit que chaque étape du processus est exécutée à une température optimale. Le régulateur de température surveille la température du substrat pendant le cycle et utilise des algorithmes avancés pour optimiser la température de chaque procédé. En outre, la large gamme de température de l'actif permet une grande variété de processus de dépôt. Le modèle dispose également d'un équipement de chargement/refroidissement de substrat rapide, qui fournit une génération rapide de résultats supérieurs avec des temps d'exécution encore plus rapides. Le système dispose d'un mécanisme de chargement/refroidissement rapide du substrat, permettant des temps de changement rapides du substrat jusqu'à 60 secondes. Cela aide à contrôler l'uniformité des dépôts et à minimiser l'accumulation de particules. CONCEPT ONE est une unité avancée basée sur un design multi-chambres et une interface utilisateur intuitive. Cette machine est capable d'assurer fiabilité, flexibilité et uniformité des résultats. L'outil est conçu pour atteindre des débits élevés et minimiser les temps d'arrêt, offrant des performances supérieures avec la répétabilité et la vitesse requises par les processus les plus difficiles.
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