Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9158667 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est une technologie de réacteur révolutionnaire développée par NOVELLUS Systems pour les procédés avancés de production de semi-conducteurs. Le réacteur est composé d'une cuve de réintroduction en graphite, d'une zone de traitement chauffée et d'une isolation en ligne en quartz autour de la zone de traitement. Le navire contient une structure en boucle étagée et fermée avec cinq sections ; Vanne principale, vannes amont, vannes aval, pré-réacteur et réacteur. La vanne principale agit comme une vanne d'entrée, contrôlant le flux de gaz de procédé dans le réacteur afin de créer les conditions de procédé désirées. Les vannes amont sont utilisées pour contrôler la pression amont et amorcer le démarrage du processus, et les vannes aval sont utilisées pour réguler la pression afin de maintenir les conditions de processus désirées. La section Pré-Réacteur contient le chauffe-substrat, assurant un chauffage uniforme de la zone de traitement avant le réacteur. La section Réacteur est alors composée de deux Chambres, la Chambre de Procédé et la Chambre de Substrat. La chambre de procédé contient l'injecteur de gaz, qui est utilisé pour appliquer le gaz de procédé désiré dans la chambre, et les régulateurs de débit massique, qui répartit uniformément le gaz à travers la chambre. Un revêtement en acier inoxydable à l'intérieur de la chambre de procédé est revêtu d'isolant en graphite, tandis que l'isolant en quartz est placé autour de l'extérieur de la chambre. Cela aide à maintenir la température de la zone de traitement, tandis que la chambre de procédé elle-même a une conception horizontale pour assurer une vitesse de chauffage uniforme tout au long. La chambre de substrat contient également une couche d'isolation en quartz, pour aider à maintenir la température désirée, ainsi que des injecteurs de gaz à quartz et des régulateurs de débit massique pour assurer une application uniforme du gaz de procédé pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est conçu pour fournir des procédés uniformes à haute température dans le substrat. Il s'est déjà avéré être un système fiable et efficace pour la production avancée de semi-conducteurs, avec une conception simplifiée et efficace qui permet une flexibilité, un débit de gaz facilement réglable et des exigences minimales d'entretien.