Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9169829 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One Reactor est une technologie de traitement de wafer propriétaire de pointe spécialement conçue pour les applications à haut débit. Ce réacteur de gravure diélectrique est conçu pour des vitesses de gravure maximales, une sélectivité diélectrique améliorée et une uniformité de gravure maximale. Les principales applications de NOVELLUS CONCEPT ONE comprennent la gravure des caractéristiques de rapport d'aspect élevé, y compris les tranchées de grille, les tranchées peu profondes et les trous de contact. Le réacteur a des performances inégalées grâce à ses technologies de traitement avancées, à sa conception à haut débit et à ses améliorations de l'uniformité thermique. Il présente également un design de bouclier tridimensionnel, adapté à partir d'un système de ratio d'aspect élevé, ce qui améliore la qualité du produit. La chambre de traitement spécialisée dispose d'une combinaison sans précédent de technologies qui permettent un contrôle précis des gravures, des rendements élevés et une uniformité diélectrique améliorée. Il comporte également une source d'injection directe avec un contrôle précis du débit de gaz, permettant de programmer la chambre pour un écoulement précis en un point donné de la chambre. Cette caractéristique maximise l'uniformité, permet la flexibilité du procédé et une gravure précise à haut rapport d'aspect. Le rapport d'aspect élevé de CONCEPT One permet de graver des tranchées et des trous de contact qui peuvent parfois atteindre 150:1 ratio d'aspect. Cela nécessite à la fois une puissance et des taux de gravure plus élevés que les techniques de gravure traditionnelles. Pour cela, CONCEPT ONE utilise une source hyperfréquence monofréquence et des techniques de gravure assistée par ions pour fournir une uniformité de gravure précise et un contrôle angulaire. NOVELLUS CONCEPT One dispose d'une automatisation intégrée qui respecte les capacités de production à haut volume. Le contrôle du débit réactif et d'autres paramètres du processus ont été optimisés pour garantir des résultats de processus reproductibles et un taux de production élevé. L'équipement robotisé permet un contrôle rapide et précis des processus, ce qui contribue à augmenter l'efficacité et la fiabilité de la production. En conclusion, NOVELLUS CONCEPT ONE est un système de traitement de plaquettes leader dans l'industrie, avec des taux de gravure supérieurs, la sélectivité et l'uniformité. Son réacteur de gravure diélectrique, ses commandes automatisées et sa source hyperfréquence intégrée permettent d'améliorer la qualité du produit et le débit de production.