Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9193243 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur avancé à base de plasma qui fournit un traitement de haute précision pour l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur utilise une combinaison unique de plasma d'argon confiné magnétiquement et d'optique laser à électrons libres pour créer un procédé de fabrication très efficace et rentable pour la création de dispositifs semi-conducteurs. Ce réacteur de pointe a été développé par NOVELLUS Systems, Inc., un fournisseur leader de solutions de haute technologie pour la fabrication de semi-conducteurs. La chambre de réaction plasma (RPC) est le cœur du réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE. Cette chambre est composée de plusieurs composants dont la fenêtre optique, la fenêtre de puissance et les parois de chambre. La RPC utilise une combinaison unique de plasma d'argon et d'optique laser à électrons libres pour assurer un contrôle de précision et une précision répétable pendant le traitement. Le plasma d'argon est maintenu en place par le champ magnétique généré par le solénoïde extérieur à la chambre. Lorsque le plasma est alimenté, il agit comme une source de pulvérisation en mode gazeux d'espèces réactives ou neutres permettant un meilleur contrôle et une plus grande souplesse de procédé. Le paquet optique produit une forme spectrale d'énergie localisée diffractivement pour augmenter la sélectivité du processus hors axe et axe central. CONCEPT One dispose également d'un équipement d'entraînement RF haute puissance avancé pour fournir un contrôle plasma optimal. Ce système d'entraînement correspond exactement à la fréquence du plasma et produit des champs magnétiques pulsés à grande échelle pour éviter l'arc et créer une forme de plasma désirée. L'unité de contrôle avancée présente dans ce réacteur assure un processus fiable et reproductible avec un contrôle de précision. La machine est conçue pour compenser les changements paramétriques tels que la variation des fonds ou l'encrassement des composants. CONCEPT ONE est compatible avec les matériaux et configurations standard de l'industrie pour le traitement des semi-conducteurs. Avec sa combinaison unique de systèmes d'entraînement RF, d'optique et de production de plasma, ce réacteur peut traiter une variété de substrats et de matériaux semi-conducteurs avec une précision et une précision exceptionnelles. La conception de NOVELLUS CONCEPT One a été optimisée pour une production à haut rendement de dispositifs semi-conducteurs de haute qualité, des temps de cycle de coupe et des coûts pour les fabricants.