Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9226320 à vendre en France
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ID: 9226320
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
CVD System, 6"
1996 vintage.
NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur utilisé pour le dépôt et la gravure de substrats tels que les métaux et les diélectriques. Il est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées telles que des plasmas à couplage capacitif haute fréquence (HFCP) et des modules de processus modulaires au niveau des plaquettes. Le réacteur combine une productivité à haut débit, un faible coût de possession et une faible empreinte, ce qui en fait le choix idéal pour les applications de recherche et de production. Le réacteur est conçu pour fournir une excellente combinaison de débit élevé, un contrôle précis de l'environnement de dépôt et des recettes de processus précises. Une source HFCP fournit une densité ionique accrue et une plus grande profondeur des composants de gravure, ce qui améliore la précision et la vitesse du processus. La source HFCP permet également d'adapter les paramètres de traitement à des besoins spécifiques. Avec NOVELLUS CONCEPT ONE Réacteurs contrôle de puissance précis, contrôle précis de l'alimentation en réactif et contrôle précis de l'environnement de dépôt, l'utilisateur est en mesure de produire un dépôt cohérent et uniforme de matériaux en couches minces avec un rapport d'aspect élevé. Le réacteur est également équipé d'un module de procédé modulaire au niveau des plaquettes. Ceci permet un contrôle précis et une flexibilité pour les opérations au niveau des plaquettes telles que la métrologie, l'imagerie, le revêtement par pulvérisation et le dépôt. Le réacteur est également compatible avec plusieurs accessoires, tels que les systèmes Process Veinless, les modules de transfert de vide, les systèmes de distribution de gaz et les sources de bobines à angle variable. Une caractéristique importante du réacteur est sa mise en place rapide et ses temps de cycle courts, permettant une productivité maximale. En outre, il est facile à utiliser et offre une grande flexibilité lors du développement de nouveaux processus. CONCEPT Un réacteur offre une excellente combinaison de précision, de performance et de rentabilité, ce qui le rend idéal pour une variété d'applications de recherche et de production. Avec ses caractéristiques avancées et sa flexibilité, le réacteur est un outil idéal pour la création et la mise en œuvre d'un traitement et d'un dépôt fiables, reproductibles et rentables.
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