Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9226321 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est un nouveau design révolutionnaire dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs. C'est un outil révolutionnaire de CVD (dépôt chimique en phase vapeur), combinant les performances d'une chambre de gravure humide, d'une chambre de dépôt et d'un dispositif de chauffage par substrat dans un seul équipement compact. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est conçu pour assurer une homogénéité supérieure de la température du procédé et un haut degré de contrôle du procédé. CONCEPT Un réacteur utilise une plate-forme à chambre tournante, entraînée par un moteur, pour revêtir uniformément le substrat d'un liquide réfléchissant distillé à partir du matériau source de dépôt. Le substrat chaud est alors chauffé rapidement et avec précision à l'aide d'un chauffage au graphite au gaz à haut rendement, avant que le substrat ne pénètre dans la chambre de dépôt. A l'intérieur de cette chambre, le matériau est ensuite déposé sur le substrat, la température et les flux gazeux étant précisément contrôlés et contrôlés. Les interactions à grande vitesse et le dosage plasmatique sont également intégrés dans le cycle de rotation pour optimiser le processus. Le réacteur CONCEPT ONE dispose également d'un système avancé de numérisation X-Y qui a été optimisé pour une homogénéité et une reproductibilité maximales du procédé. Cette unité permet à la plate-forme de chambre d'être programmée avec précision pour balayer dans n'importe quelle direction et à l'opérateur de contrôler rapidement et commodément le processus. La plate-forme peut également être utilisée pour suivre le substrat et traiter les températures pendant le dépôt, ce qui permet de surveiller et d'ajuster le procédé à la volée. NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est conçu pour offrir une homogénéité de température et une stabilité de procédé supérieures, tout en permettant à l'opérateur une plus grande flexibilité et un meilleur contrôle. Il est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs car il peut gérer la plupart des processus de dépôt, y compris CVD, ALD, et PECVD. La conception permet également d'effectuer le nettoyage et l'entretien du réacteur plus rapidement et plus efficacement, minimisant les temps d'arrêt et prolongeant la durée de vie de la machine. Cette conception fiable et performante est reconnue par beaucoup dans l'industrie des semi-conducteurs et est disponible auprès de NOVELLUS Systems.