Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9243883 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur monocouche haute performance, alimenté par une technologie et un design innovants. Le réacteur offre une flexibilité de procédé supérieure, des temps de cycle plus rapides et une meilleure utilisation de l'espace fab coûteux. Le réacteur est composé d'une chambre fixe monobloc et d'une plate-forme de mouvement à six axes d'une portée maximale de 10 pouces. La chambre est construite et conçue pour s'assurer qu'il n'y a pas de risque de contamination par les particules et est construite avec une paroi électrostatique PEEK à la masse. Le réacteur comporte une zone de pompage de 6,5 pouces et une zone de pompage isolée, avec ventilation active intégrée. Pour offrir une flexibilité de processus supérieure, NOVELLUS CONCEPT ONE est équipé d'une fonction de changement d'outil haute vitesse. Il peut être échangé avec différentes configurations telles que le traitement mono-plaquette et bi-plaquette. L'uniformité de température est maintenue par des plaques refroidies à l'eau, qui assurent également un environnement de faible masse thermique. CONCEPT One est capable d'exécuter jusqu'à 1000 recettes et toutes à une vitesse et une précision variables. Le CONCEPT ONE est alimenté par une plate-forme de mouvement multi-axes et dispose de commandes robustes, précises et fiables. Sa puissante suite de mouvements comprend des modèles de mouvements rapides à 10 axes, ainsi que des configurations d'axes inertiels à faible et haute force. Chaque axe est capable de délivrer jusqu'à 200 mm/s de vitesse linéaire et 150 ° C/seconde de rotation. Cela permet à l'équipement d'effectuer plusieurs opérations simultanément, réduisant considérablement les temps de cycle et augmentant la productivité. En outre, pour maximiser l'utilisation de l'espace fab coûteux, NOVELLUS CONCEPT One est conçu comme un système intégré et fermé avec tous les composants contenus et connectés en un seul endroit. L'unité de commande est conçue pour assurer le plus haut niveau de précision, de précision et d'automatisation. NOVELLUS CONCEPT ONE est la machine idéale pour des processus performants, flexibles et fiables. Il offre une flexibilité de processus supérieure, des temps de cycle plus rapides et une meilleure utilisation de fab espace coûteux, tout en maintenant l'uniformité de température et des performances supérieures.