Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9262615 à vendre en France
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NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur CVD (dépôt chimique en phase vapeur) conçu pour un traitement uniforme et répétable des dispositifs semi-conducteurs. Cette machine a été introduite pour la première fois en 2004 et est devenue un choix populaire pour les semi-conducteurs et les industries connexes. Ses caractéristiques comprennent une répétabilité supérieure des processus et un faible coût de fonctionnement. Ses performances ont été améliorées avec chaque version ultérieure, avec des conceptions actuelles offrant un meilleur débit et un meilleur contrôle des processus. Le cœur de NOVELLUS CONCEPT ONE est sa chambre de process. Il s'agit d'une chambre revêtue d'acier inoxydable avec des rainures évidées permettant la mise en place de multiples tranches de processus. La chambre est thermiquement contrôlée et a une plage de pression réglable. Il est également équipé d'un système d'évacuation rapide qui permet d'évacuer instantanément la chambre, ce qui est nécessaire pour initier le processus de dépôt. CONCEPT One comprend également une source de plasma, qui est utilisée pour initier le processus de dépôt chimique en phase vapeur. Cette source produit un gaz monatomique, également appelé plasma, qui est chauffé et traversé par la chambre de procédé. Ce plasma interagit avec le matériau désiré en le faisant passer sur la plaquette. Ce procédé est extrêmement uniforme, chaque couche étant d'épaisseur identique. D'autres caractéristiques du CONCEPT ONE comprennent la surveillance et le contrôle des processus, ainsi qu'un système intégré d'acquisition de données. Ce système d'acquisition de données permet l'observation en temps réel du processus de dépôt, permettant aux ingénieurs de surveiller l'ensemble du processus du début à la fin. En un mot, NOVELLUS CONCEPT One est un outil CVD fiable et peu coûteux qui offre une répétabilité et un contrôle de processus supérieurs. C'est un équipement très respecté, avec de nombreux ingénieurs et ingénieurs de processus le recommandant pour sa flexibilité et ses excellents résultats. Ceci à son tour a assuré sa popularité répétée dans l'industrie des semi-conducteurs.
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