Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9268771 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One
Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT One
ID: 9268771
Taille de la plaquette: 6"
CVD Systems, 6".
NOVELLUS CONCEPT One est un outil avancé pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est conçu pour des applications de gravure diélectrique et de dépôt à haute productivité dans l'industrie des semi-conducteurs. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est la combinaison parfaite de performance, de flexibilité et de coût. Il offre une production fiable et rentable de solutions de plaquettes 300mm certifiées et entièrement conformes. CONCEPT Un réacteur est une chambre de procédé monobloc, construite en acier inoxydable conducteur thermiquement et électriquement. Il est équipé d'un contrôle précis du débit de gaz et d'une génération de plasma uniforme. Il est conçu pour un auto-ajustement extrêmement uniforme sur toute la surface de la plaquette, ce qui permet au processus de rester sur la cible quel que soit le nombre de matrices ou à travers la plaquette. La chambre de procédés offre également une excellente répétabilité des procédés et un excellent contrôle des contaminants, y compris les métaux et les particules. Le réacteur dispose également de contrôle dynamique des gaz, qui lui permet d'ajuster les débits et les températures indépendamment, permettant des conditions de processus optimales à chaque fois. Cela offre une excellente uniformité de processus, la conformité de la dose, et la réduction du temps de cycle. Le réacteur CONCEPT ONE dispose également d'un contrôle thermique et de pression automatique (ATPC), assurant que la chambre maintient toujours les niveaux de processus corrects pour les meilleurs résultats possibles. Il offre également un système de suivi et de contrôle des processus en temps réel (PMC), permettant une meilleure analyse des tendances de performance et d'optimisation des processus. Le réacteur dispose de diverses recettes de processus et d'outils pour répondre à différents besoins dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est également compatible avec un certain nombre d'équipements et de configurations standard de l'industrie, y compris l'automatisation des plates-formes, les systèmes de transfert et de chargement/déchargement des plaquettes, les pompes à vide, les systèmes de distribution de gaz et les systèmes de sécurité. Dans l'ensemble, NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est un outil de pointe pour le traitement efficace des plaquettes semi-conductrices. Il offre des performances fiables et rentables avec un contrôle précis des processus. En outre, ses recettes de processus et ses capacités d'automatisation offrent un haut degré de flexibilité et le rendent adapté à de nombreuses applications différentes.
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