Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9268776 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT One
ID: 9268776
Taille de la plaquette: 6"
PECVD Systems, 6".
NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur unique et innovant dans l'industrie des semi-conducteurs pour les applications de gravure et de dépôt. NOVELLUS CONCEPT ONE utilise un plasma haute fréquence, créé par une source RF, et une bobine de couplage inductif avec un design de lecture innovant pour créer une gravure et un dépôt de matériaux uniformes et précis. Cette fonctionnalité avancée permet des processus de gravure, de dépôt et de nettoyage plus efficaces, ainsi que des rendements plus élevés et des produits plus fiables. CONCEPT One utilise deux bobines distinctes couplées inductives qui sont reliées entre elles par une boucle de rétroaction. On obtient ainsi des taux de gravure et de dépôt de haute qualité, uniformes et répétables, ce qui se traduit par des rendements plus élevés et des rendements de procédé plus faibles. La vitesse de dépôt élevée assure l'homogénéité et l'excellente qualité des couches de gravure et de dépôt. Les deux bobines d'induction ont chacune une unité d'interface cathodique (UIC) distincte. Cela permet une flexibilité dans le réglage de chaque bobine d'induction indépendamment, ce qui donne des vitesses de gravure et de dépôt accordables. De plus, les OPC peuvent être programmés selon des paramètres définis par l'utilisateur pour le processus de gravure, ce qui garantit la précision et la répétabilité. Une autre caractéristique unique de CONCEPT ONE est son équipement breveté de production de plasma à basse température. Les systèmes traditionnels ont tendance à avoir une chute de température élevée au cours de leurs processus de dépôt, ce qui entraîne des problèmes d'uniformité des gravures qui peuvent réduire considérablement les rendements. NOVELLUS CONCEPT On utilise un mécanisme de chute à basse température qui réduit considérablement les chutes de température, améliorant ainsi le débit et les rendements. En plus de ses procédés améliorés, NOVELLUS CONCEPT ONE réduit considérablement le temps de maintenance pour les opérations de fabrication de semi-conducteurs. Le système est câblé pour être autosurveillant, ce qui le rend pratiquement sans entretien. Un logiciel de maintenance avancé permet aux ingénieurs d'exécuter des diagnostics sans avoir à entrer dans la zone opérationnelle de l'unité, réduisant ainsi les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, CONCEPT One est un réacteur innovant conçu pour fournir l'ultime dans les processus de gravure, de dépôt et de nettoyage, maximisant les rendements et les temps de traitement tout en maintenant le temps de maintenance à un minimum. Ses caractéristiques avancées, telles que sa production de plasma à basse température et les réglages définis par l'utilisateur, font de cette machine un choix robuste et fiable pour les fabricants de semi-conducteurs.
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