Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9288077 à vendre en France
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NOVELLUS CONCEPT Un réacteur est un outil de traitement des semi-conducteurs conçu pour la fabrication de composants microélectroniques avancés et à forte demande. Le réacteur se caractérise par sa capacité à fournir des résultats cohérents et répétables dans le dépôt de matériaux à couches minces uniformes même sur de grandes surfaces. Cet équipement fournit un niveau de précision et de contrôle jusqu'alors impossible à atteindre pour la fabrication de dispositifs grâce à un certain nombre de caractéristiques innovantes, telles que son architecture brevetée de flux double zone. La conception de flux à double zone permet de définir avec précision les propriétés de flux de matière source et de gaz inerte, ce qui permet un meilleur contrôle des couches minces générées et de la vitesse de dépôt. Pour affiner le processus de dépôt, NOVELLUS CONCEPT ONE est équipé d'un « système de gestion de la pression » qui utilise une chambre à ultra-basse pression contrôlée activement avec une tête de douche intégrée source-matériau. Ces caractéristiques, ainsi que sa capacité à surveiller, surveiller, contrôler et ajuster le processus de dépôt en couches minces en temps réel, garantissent que CONCEPT One peut traiter les matériaux avec une grande précision et répétabilité. En outre, le réacteur CONCEPT ONE est conçu pour répondre à un large éventail d'exigences techniques. L'unité est équipée d'une gamme de diagnostics in situ tels que des spectromètres embarqués et un spectromètre optique d'émission de précision. Celles-ci permettent la rétroaction in situ des données de processus, ainsi que la surveillance des paramètres de processus pour améliorer la qualité des dépôts en couches minces. Les capacités de diagnostic in situ s'étendent également au développement de couches minces axées sur les performances, car les diagnostics peuvent être utilisés pour optimiser les paramètres de dépôt de divers matériaux sources. Cela rend le processus plus efficace, car les paramètres optimisés peuvent être utilisés dans les futures séries de production sans avoir besoin d'expérimentation supplémentaire. Enfin, NOVELLUS CONCEPT One dispose d'une machine de contrôle de processus robuste qui permet une surveillance automatisée du processus de dépôt. Cela offre une performance sûre, cohérente, répétable et rentable pour la fabrication des appareils électroniques les plus difficiles et les plus exigeants. En résumé, le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est une solution avancée, efficace et très précise pour le dépôt de matériaux à couches minces avec une homogénéité et une homogénéité supérieures sur de grandes surfaces.
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