Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9299444 à vendre en France

Fabricant
NOVELLUS
Modèle
CONCEPT One
ID: 9299444
Taille de la plaquette: 6"
PECVD System, 6" TEOS.
NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur haute performance de nouvelle génération conçu pour fournir des capacités de traitement avancées pour la fabrication de semi-conducteurs avancés. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est conçu pour fournir des rendements de processus élevés et une productivité optimale, avec un faible budget thermique, une faible production de particules et une uniformité. CONCEPT Un réacteur utilise les dernières avancées de la technologie MEMS (Micro-Electro Mechanical Structure), utilisant des cuves à méso-échelle qui sont la moitié de la taille des réacteurs traditionnels, permettant des niveaux de débit et de précision sans précédent. Le réacteur CONCEPT ONE est équipé d'une source de vide intégrée et d'une chambre de traitement secondaire pour des applications avancées, permettant une gamme polyvalente de capacités de traitement. Il est capable de manipuler de petits lots et de grandes plaquettes avec un contrôle de débit élevé, ainsi que de fournir une variété de techniques de dépôt telles que l'évaporation par faisceau d'électrons, le dépôt chimique en phase vapeur et le dépôt par pulvérisation. Pour répondre à la demande de revêtements en couches minces de haute précision, NOVELLUS CONCEPT One dispose d'un module de procédé multi-zones autonome qui permet le dépôt du rapport d'aspect le plus élevé. Il est capable de déposer et de graver des couches minces avec une précision d'échelle nanométrique, et ses systèmes de débit de gaz et de puissance peuvent être facilement configurés pour répondre à des exigences de processus spécifiques. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est conçu pour offrir une excellente uniformité et précision dans les mesures de processus. Ses capacités de mesure avancées comprennent l'utilisation d'un équipement de surveillance avancé basé sur l'optique, donnant des lectures avec une précision allant jusqu'à 20 nanomètres. Le réacteur dispose également d'un système de métrologie optique avancée et d'une unité intégrée de spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (FTIR), fournissant des capacités analytiques complètes qui peuvent être utilisées pour le contrôle des procédés et le diagnostic. CONCEPT One est également équipé d'une machine de gestion intégrée de l'environnement, permettant un fonctionnement sûr et efficace dans une variété d'environnements. La conception à basse chaleur et à faible puissance du réacteur peut être configurée pour répondre à des exigences environnementales spécifiques, et ses caractéristiques de sécurité intégrées fournissent un outil optimisé pour la sécurité des procédés. Le réacteur CONCEPT ONE est un réacteur avancé et performant capable de fournir des capacités de traitement sans précédent pour le marché de la fabrication de semi-conducteurs. Ses systèmes intégrés, ses caractéristiques de conception avancées et ses capacités analytiques exceptionnelles en font l'outil idéal pour obtenir des rendements et une productivité optimales. Avec sa technologie de pointe, NOVELLUS CONCEPT One est destiné à révolutionner l'industrie.
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