Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9300350 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One est un réacteur conçu pour les applications de fabrication de semi-conducteurs et d'autres microélectroniques. Il s'agit d'une ligne de produits de dépôt et de gravure conçue pour fournir une précision, une productivité et une flexibilité inégalées pour des processus exigeants tels que la réduction des défauts de plaque (défauts de surface), la formation de grille poly-Si et la formation et l'isolement d'interconnexions de cuivre. Le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est divisé en trois zones : une chambre supérieure de charge/déchargement, une chambre de procédé et une extrémité avant intégrée. La chambre de chargement/déchargement supérieure peut être isolée du reste de l'équipement pour faciliter l'entretien, l'accès et le service. La chambre de procédé comprend une turbo-pompe hélicoïdale et une vanne à faible débit, ce qui permet d'effectuer plusieurs étapes de traitement sans ventilation. L'extrémité avant intégrée est munie d'une vanne à vide élevé, ainsi que d'un moniteur de dépôt in situ utilisé pour créer un environnement contrôlé. CONCEPT Un réacteur contient une technologie propriétaire appelée « CappCycle », qui est un système d'entraînement à haute fréquence et à haute puissance numérique à mandrin électrostatique (ESC). Cette technologie est utilisée pour réduire la charge en gaz et améliorer la stabilité du plasma. D'autres caractéristiques incluent une alimentation indépendante en He, une unité automatique de contrôle de la pression au niveau des plaquettes, un contrôle numérique de l'harmonique des sources d'ions et un lockout de fin de cycle de haute fiabilité. Le réacteur CONCEPT ONE est conçu pour offrir une uniformité de dépôt et un rendement de traitement supérieurs dans un large éventail de conditions de procédé. En outre, le réacteur a été conçu pour fournir un budget thermique très faible, ce qui a entraîné des dommages thermiques minimes et un meilleur contrôle du procédé. En outre, la technologie CappCycle exclusive permet un plasma durable pour une répétabilité accrue du procédé et un coût consommable réduit. En conclusion, le réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est un outil de dépôt et de gravure unique qui fournit précision, productivité et flexibilité de pointe pour les applications microélectroniques et autres applications semi-conductrices. Ses outils et technologies de pointe, comme CappCycle, offrent une uniformité, une répétabilité et un budget thermique supérieurs, tout en minimisant les coûts.