Occasion NOVELLUS CONCEPT One #9377870 à vendre en France

NOVELLUS CONCEPT One Reactor est un outil révolutionnaire pour le dépôt électronique de couches minces pour la fabrication de circuits intégrés. Il utilise une combinaison de processus rotatifs, thermiques et chimiques pour déposer avec précision des couches minces à des vitesses élevées, ce qui augmente la productivité, améliore l'uniformité et améliore les propriétés des couches. Le réacteur est conçu pour permettre le dépôt en couches minces sur divers matériaux, y compris ceux utilisés pour la fabrication de semi-conducteurs et le dépôt chimique en phase vapeur. Le disque tournant du réacteur NOVELLUS CONCEPT ONE est doté d'un centre cylindrique orienté horizontalement d'un diamètre pouvant atteindre 6 pouces. Les disques saphir sont montés sur le centre tournant, permettant un dépôt précis en couches minces. Le réacteur comprend une source de chaleur, soit un système résistif, soit un système d'induction, pour maintenir des températures précises sur toute la gamme des dépôts thermiques. Le système thermique peut être sec ou humide et est réglable avec un chauffage ou un refroidissement précis. En outre, une source secondaire de chaleur peut être utilisée pour obtenir une plus grande uniformité et des taux de dépôt plus élevés. Le réacteur comprend également une source chimique, qui peut être une source chimique distincte ou une source combo qui utilise à la fois la source de chaleur et la source chimique. La source chimique comprend un système de délivrance chimique, permettant un contrôle précis de la présence chimique et permettant la délivrance du mélange chimique sur toutes les zones du substrat. En outre, CONCEPT One Reactor offre également un certain nombre de fonctionnalités pour améliorer le dépôt en couches minces. Selon le substrat et le film désiré, le réacteur peut être configuré pour un dépôt chimique et thermique, ou pour une combinaison des deux. De plus, le réacteur fournit un étalonnage et un diagnostic automatisés et précis pour garantir des résultats de dépôt précis. CONCEPT ONE Le réacteur est un excellent outil pour le dépôt moderne et rapide de matériaux à couches minces. Il fournit une température et un contrôle chimique précis, permettant de traiter un large éventail de substrats avec une meilleure uniformité et une productivité accrue.