Occasion NOVELLUS Inova NExT #9283648 à vendre en France

NOVELLUS Inova NExT est un équipement de pointe de traitement des plaquettes conçu pour un rendement élevé et un faible coût de possession. Il dispose d'une conception de chambre annulaire innovante qui permet des processus de dépôt haute performance tout en réduisant le coût total de la propriété du système. Il est idéal pour les applications qui nécessitent un débit élevé et/ou des combinaisons multiples de processus de dépôt, ou qui ont des plaquettes qui sont plus grandes que la taille standard. Inova NExT se compose de nombreux composants avancés, y compris le réacteur annulaire NEXt-Gen, un outil de dépôt à haute température avec un intervalle annulaire breveté. Cette conception permet un chauffage uniforme du substrat et le dépôt de matériaux à travers un large éventail de paramètres de processus et de températures. L'outil présente également une uniformité de film optimisée et des capacités de dépôt plus élevées que les outils standard. NOVELLUS Inova NExT dispose également d'une unité de régulation de température avancée et d'une machine de refroidissement des substrats capable de maintenir une répartition de température uniforme dans la chambre de procédé et d'assurer un transfert thermique efficace entre la plaquette et la zone de dépôt. Cela permet un contrôle de la qualité à chaque étape du processus, garantissant des résultats uniformes. L'outil offre également des fonctions d'automatisation avancées telles que la gestion intégrée des données, l'accès à distance et une suite de contrôle de processus avancée. Le réacteur annulaire NEXt-Gen utilise un mélange azote-azote comme gaz vecteur, fournissant une atmosphère sûre et inerte qui aide l'outil à réaliser des processus de dépôt précis et performants. La conception permet également de développer facilement l'atout pour une plus grande variété de procédés et une production en plus grand volume. En plus du réacteur annulaire NEXt-Gen, Inova NExT comprend également un outil de gravure accordable. Cet outil utilise un signal RF breveté et des recettes de processus uniformes pour assurer une gravure précise, sans nécessiter de réglage manuel des paramètres de gravure. Cela permet des processus de gravure de haute précision et réduit le risque de dommages aux plaquettes. NOVELLUS Inova NExT est la technologie idéale pour les besoins actuels de traitement des plaquettes, offrant des performances fiables, un débit accru et des économies de coûts. Il est idéal pour une variété d'applications, y compris l'emballage avancé, le dépôt diélectrique, la production d'appareils 3D, la microfabrication, et plus encore.