Occasion NOVELLUS Inova NExT #9313086 à vendre en France

NOVELLUS Inova NExT est un réacteur de traitement semi-conducteur utilisé pour la fabrication de circuits intégrés (IC). Il s'agit d'un système avancé de traitement multi-plaquettes qui se compose d'un module de transfert de plaquettes de haute précision et d'une chambre de traitement. Le module de transfert de plaquettes facilite le déplacement de plaquettes entre la chambre de traitement et un stockage tampon de plaquettes, ainsi que ses outils de traitement associés. La chambre de traitement s'associe à un ou plusieurs des outils de procédé associés, pour permettre un traitement parallèle de plusieurs plaquettes. Inova NExT utilise deux gaz de procédé distincts pour déposer et graver des films minces et effectuer des travaux lithographiques. Les deux gaz sont le trifluorure d'azote (NF3), qui sert à déposer des couches minces, et l'hexafluorure de soufre (SF6), qui sert à graver des couches. Un système de débit massique (MT) à bord contrôle et surveille l'acheminement de ces gaz de transformation. Le contrôle de livraison est géré par une méthode propriétaire de « partage fractionnaire » des molécules de gaz, qui permet la dispersion rapide des gaz dans plusieurs directions d'écoulement à un niveau ultra-fin. Les fonctionnalités avancées de NOVELLUS Inova NExT comprennent également un module multi-gaz, qui offre une combinaison de contrôle des gaz NF3 et SF6, ainsi qu'un module de contrôle spécial qui permet aux utilisateurs de mélanger et de contrôler la livraison de plusieurs gaz de processus simultanément. En outre, cette chambre de procédé ultra-précise offre un traitement de température et d'uniformité avancé, qui assure l'intégrité de la couche mince, ainsi que ses propriétés électriques souhaitées. En plus des technologies de processus, Inova NExT comprend une suite d'outils logiciels propriétaires qui sont utilisés pour programmer et contrôler les conditions de fonctionnement de la chambre de processus. Cela comprend les fonctions de surveillance à distance, de contrôle et de réglage de tous les flux de gaz, ainsi que l'enregistrement des données, l'archivage des données, la gestion des recettes, la gestion de l'environnement et le contrôle des processus. Dans l'ensemble, NOVELLUS Inova NExT offre une plate-forme robuste et très précise pour le traitement des plaquettes, permettant le développement de circuits intégrés complexes et performants. Ses technologies de processus et ses outils logiciels de pointe assurent la fabrication fiable d'IC complexes, avec des performances répétables et prévisibles.