Occasion NOVELLUS Inova XT #293818927 à vendre en France

NOVELLUS Inova XT est un réacteur avancé conçu pour fournir le plus haut niveau de performance de gravure tout en maintenant une répétabilité optimale du processus. En particulier, Inova XT est un réacteur monocouche à base de plasma, capable de déposer et de graver des matériaux avec une précision exceptionnelle, assurant le plus haut niveau de précision de fabrication des géométries des dispositifs pendant les cycles de production. NOVELLUS Inova XT utilise un système très avancé et intégré pour réduire les variations de processus. Le réacteur comprend deux modules indépendants : une source de plasma et une chambre de procédé à haute résolution. Le module source de plasma utilise une source centrale ECR (electron cyclotron resonance) pour générer efficacement du plasma pour déposer et graver des matériaux. Un filtre InnovusMC fixe la fréquence de la source à une certaine plage pour réduire les interférences et les inhomogénéités produites par le plasma. Cela garantit que le plasma créé est de nature plus uniforme, prévisible et fiable, assurant un procédé de fabrication hautement reproductible. Inova XT contient également une chambre de processus avancée, qui utilise une combinaison de livraison RF précise et un contrôle indépendant de la position des plaquettes pour déposer et graver avec précision les matériaux. La chambre utilise une série d'électrodes ou de sources ECR pour diriger précisément l'énergie RF vers la plaquette. Cette livraison RF de précision est couplée avec un logiciel de contrôle de processus avancé pour assurer le plus haut niveau de précision dans les processus de gravure et de dépôt. De plus, chaque chambre de processus a son propre étage de wafer contrôlé de façon indépendante, ce qui permet d'optimiser la planification des tâches de chaque wafer. NOVELLUS Inova XT dispose également de protocoles de sécurité avancés pour assurer la sécurité des opérateurs. Le système est équipé de capteurs et de systèmes d'échappement qui surveillent la densité du plasma, la pression du procédé, la température et d'autres procédés. Si l'un de ces paramètres dépasse les limites maximales autorisées, le système s'arrête automatiquement, ce qui facilite le contrôle et la fiabilité du processus. Afin de fournir le plus haut niveau de répétabilité et de sécurité des processus, Inova XT propose un certain nombre d'options de mise à niveau telles que des logiciels de contrôle des processus de précision et des systèmes de distribution RF, des filtres à source de plasma avancés, un rayonnement de transfert de chaleur amélioré et des systèmes de sécurité avancés. NOVELLUS Inova XT est la solution idéale pour les fabricants qui travaillent avec des matériaux exigeants et des exigences de haute précision.