Occasion NOVELLUS Inova XT #9354273 à vendre en France

NOVELLUS Inova XT est un réacteur de traitement de plaquettes semi-conductrices qui assure le meilleur contrôle et l'automatisation des processus. Il est conçu pour répondre au besoin de l'industrie d'une plate-forme haute performance qui est capable de fournir un traitement productif des plaquettes avec une meilleure planarisation, le contrôle des processus et la répétabilité. Inova XT dispose d'une alimentation à haute fréquence pour un traitement plus rapide. Sa technique de gravure par ions réactifs profonds (DRIE) permet des rapports d'aspect plus élevés et des hauteurs de pas plus élevées et permet la fabrication de microstructures à profils complexes pour une variété de fabrication de dispositifs optoélectroniques, microélectroniques et MEMS. Le réacteur est équipé d'une variété d'accessoires, tels qu'un générateur RF de haute puissance, un régulateur de température, un indicateur de pH précis, un système automatisé de remplissage des plateaux et des bouteilles, et un bras robotique. Le bras robotique aide au chargement à distance et au déchargement des plaquettes à l'entrée et à la sortie du réacteur et aide à minimiser la contamination croisée. NOVELLUS Inova XT est conçu pour s'intégrer dans un environnement industriel avec plusieurs modules et chambres qui assurent et maintiennent sa propreté et sa sécurité. Il est livré avec un système de contrôle des processus avancé qui assure l'exécution cohérente, sûre et répétable des processus, tandis que les systèmes de contrôle conviviaux minimisent le temps de personnel nécessaire pour la maintenance et l'exploitation. Le réacteur est également conçu pour être très efficace lors du dépôt et de la gravure de couches d'oxyde, de nitrure et de silicium polycristallin. Son environnement programmable à plusieurs chambres et niveaux de plaquettes permet le dépôt et la gravure de couches de haute qualité avec des combinaisons de nitrure, d'oxyde, de silicium polycristallin et multi-couches. La plate-forme Inova XT offre un système peu coûteux, peu entretenu, compatible avec les processus et répétable avec un bras robotique intégré pour une automatisation efficace. Le réacteur est conçu pour produire une excellente planarisation de surface, une répétabilité de processus élevée et une productivité exceptionnelle de manière évolutive et modulaire. Il fournit un débit de plaquette superbe tout en éliminant les opérations manuelles classiques et la maintenance.