Occasion NOVELLUS Inova XT #9375328 à vendre en France

NOVELLUS Inova XT Reactor est un outil de lithographie de nouvelle génération conçu pour permettre la fabrication de microdevices semi-conducteurs. Inova XT est un appareil hautement automatisé, contrôlé par ordinateur, capable de réaliser des processus de gravure avancés de manière rapide, efficace et fiable. L'équipement est conçu pour fournir une variété de processus pour répondre aux exigences spécifiques des appareils et des processus. Le système comprend un module d'alimentation, un module de chargement, un générateur RF et un four de cuisson. Le module d'alimentation abrite les gaz de procédé, les acides et les solutions de nettoyage nécessaires à la gravure ionique réactive. Le module de chargement charge et décharge automatiquement les substrats sur un mandrin électrostatique, ce qui permet des changements rapides dans les formats de substrat. Le générateur RF utilise la fréquence hyperfréquence pour fournir des ions réactifs pour graver et activer une variété de procédés chimiques. Le four de cuisson est utilisé pour durcir, sécher la résine photosensible et traiter les produits chimiques. NOVELLUS Inova XT utilise un contrôle précis du processus de gravure pour offrir une efficacité supérieure du processus. L'unité dispose d'un large éventail de procédés de gravure disponibles, de la gravure humide à la gravure sèche, avec une grande variété de chimies et de réactions soutenues. Des procédés tels que l'oxygène, l'hydrogène, l'argon, l'ICP, l'ECR, la CMP, la gravure de quartz et la gravure de fluor sont tous supportés. La machine peut être adaptée aux besoins des différents substrats et procédés. En outre, Inova XT a intégré des caractéristiques de sécurité telles que l'isolation du soufflet, la dynamique des ventilateurs de chambre, les charges de contact minimisées sur le substrat, la carte de sécurité des gaz et les processus de rétroaction. Un moniteur automatisé assure également le suivi des opérations et fournit une analyse détaillée des processus. Pour garantir un rendement et une répétabilité élevés, NOVELLUS Inova XT utilise un certain nombre de fonctionnalités et de capacités avancées. Il intègre un module d'interface capteur, une auto-calibration, un microcontrôleur et une interface intégrée. Cet outil intégré permet au réacteur de s'adapter rapidement aux changements dans le processus de gravure, et fournit un outil efficace pour optimiser les conditions de processus sur une gamme de substrats. Dans l'ensemble, Inova XT Reactor est un réacteur de gravure très sophistiqué, efficace et sûr capable de fournir des processus de gravure précis et contrôlables. Les mécanismes d'automatisation et de rétroaction de NOVELLUS Inova XT permettent une gravure rapide et répétable, et l'actif intégré assure des rendements et une répétabilité élevés.