Occasion NOVELLUS Inova XT #9393590 à vendre en France
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ID: 9393590
Taille de la plaquette: 12"
PVD System, 12"
BROOKS MAG7 Robot
NOVELLUS MC3 Module controller
PFEIFFER Turbo and controller
(3) CTI / HILEX / BROOKS Cryo pumps
(4) BROOKS FOUP Cassette wafer loaders
VAT Throttle valve and controller
ADVANCED ENERGY PDX 5000 RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500 RF Generator
MKS RF Generator
PVD Chamber
Preclean chamber
Right degas chamber
Left degas chamber
Sputter
Transfer module with dual blade
Dual brooks robot transfer
DC power supply
Qty / Part number / Make / Model / Description
(1) / PA07060 / TREK / - / Power supply
(2) / DCS80-13E / SORENSEN / - / DC Power supplies: 0-80 V, 0-13 A / 1000 W
(1) / CPW2870B10 / CPI / - / 27-251231-00 DC Sputtering power supply
(1) / 3155051-015A / ADVANCED ENERGY / RFG 5500 / M/N: 3155051-015A RF Generator
(1) / 684-1 / TREK / - / NOVELLUS R19-137359-00, 416092, ESC Power supply: 6 Phase
(1) / RPG-50 / MKS / ENI / RPG-50A / Bipolar pulsed DC Generator
(1) / 27-156757-00 / ADVANCED ENERGY / PDX 5000 / RF Generator, M/N: 3156043-204
(1) / 03-12785-00 / NOVELLUS / - / 02-128733-00 PVD Assy SIOC Controller
(1) / 02-288084-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 0, Rev.A
(1) / 02-271697-00 / NOVELLUS / - / WTS-HV Sesioc 3 IXT, Rev.A
(1) / 02-266875-00 / NOVELLUS / - / 02-266875-00 4 IXT WTS HV 4
(1) / 02-253704-00 / NOVELLUS / - / ASSY MC3E Controller with Ethernet 75-261867-00
(1) / 02-257935-00 / NOVELLUS / - / MC3E Platform controller with Ethernet 79-257795-00
(2) / 651D-16202 / MKS / - / Throttle valve controllers
(1) / TMH 071 P / PFEIFFER / BALZERS / - / Turbomolecular
(1) / 02112-BA24-APN1/0022 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0017 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0018 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-335571
(1) / 02112-BA24-APN1/0008 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0016 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0024 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / 02112-BA24-APN1/0019 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-288644
(1) / 02112-BA24-APN1/0004 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0002 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-276468
(1) / 02112-BA24-APN1/0434 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-529666
(1) / 02112-BA24-APN1/0023 / VAT / - / Rectangular gate valve pneumatic actuator A-290319
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 120H, PM P03 120 C with TC750-E74, PM C01 712, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMU521P / PM P03 855 with TC750 Special DS15, PM C01 711, Turbo pump
(1) / - / PFEIFFER / TMH 071 P/ Turbomolecular pump with TC750-E74, PM C01 712
(1) / 8116079G001 / CTI-CRYOGENICS / - / Cryo pump, HELIX Control sputtering
(1) / 14036-PE24-0004 / VAT / - / Gate valve 14036-PE24-0004
(1) / 003-1600-25 / BROOKS / Magmatran 7 / Wafer transfer robot
(1) / 002-7090-03 / BROOKS / - / Wafer transfer robot
(1) / - / PFEIFFER / TMU 1001 P / Turbo pump PM P02 875, DN 200CF-F, 3P With TC-750 SPECIAL DS15 PMC01 711
(1) 27-265775-00 / NOVELLUS / AE Mercury 3013 Match, 3150274-009.
NOVELLUS Inova XT est un équipement multi-chambres de traitement des semi-conducteurs conçu pour la fabrication des appareils de nouvelle génération. Le système est équipé de trois chambres chimiquement isolées, chacune avec des modules de processus distincts, qui peuvent être configurés pour répondre aux exigences spécifiques de toute application. Il présente un traitement thermique supérieur, une gravure, un dépôt et des applications propres, le tout avec un risque minimal de contamination croisée. La première chambre d'Inova XT est dédiée aux procédés de dépôt. Cela comprend le dépôt chimique en phase vapeur (PECVD), le dépôt en couche atomique (ALD) ou le dépôt physique en phase vapeur (PVD). Cette chambre est également capable d'utiliser des procédés de Chimi- Etch™ ou de pulvérisation pour la gravure sèche. Elle est également compatible avec divers matériaux sources et sa flexibilité lui permet d'être utilisée pour des applications telles que le dépôt diélectrique, métallique, barrière et tridimensionnel (3D). Les deuxième et troisième chambres sont toutes deux utilisées pour les procédés de gravure. La deuxième chambre est conçue spécifiquement pour l'isolation des tranchées peu profondes et l'oxydation locale des procédés de gravure du silicium (STI/LOCOS). NOVELLUS Inova XT est conçu pour contrôler avec précision la profondeur de gravure et les transferts de fonctionnalités avec de vastes gaz de processus, des sorties RF variables et une détection directe des plaquettes pour une production minimale de particules. La troisième chambre est également équipée pour effectuer des gravures sèches utilisant à la fois des faisceaux de grappes ionisées (ICB) et des gravures ioniques réactives (RIE). Il offre des procédés de gravure de précision pour plusieurs métaux, diélectriques et autres matériaux. Inova XT fournit un contrôle de processus de haute précision avec son logiciel avancé d'ingénierie de processus. Cette unité automatisée permet de suivre les flux de gaz, les températures, les pressions, les niveaux de puissance et d'autres paramètres en temps réel. Il est également équipé de fonctions de stabilité et de sécurité telles que le temps de traitement rapide, un contrôle robuste, la surveillance des erreurs, des alarmes de sécurité intégrées et l'arrêt automatique de la machine pour garantir un produit final de haute qualité. Dans l'ensemble, NOVELLUS Inova XT est un outil puissant et fiable conçu spécifiquement pour les applications avancées de traitement des semi-conducteurs. Son architecture à plusieurs chambres et son large éventail de capacités de dépôt et de gravure en font un choix idéal pour une grande variété d'applications. Ses logiciels de processus avancés et ses fonctionnalités de sécurité en font une solution fiable et économique pour tout utilisateur cherchant à obtenir des résultats maximums.
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