Occasion NOVELLUS Inova #9188675 à vendre en France

NOVELLUS Inova est une chambre de réaction conçue pour traiter diverses opérations à haute température telles que le dépôt de couches minces et de couches thermiques sur un substrat. Il comprend toutes les caractéristiques nécessaires pour un traitement efficace du substrat, telles que l'intégrité du vide, une répartition uniforme de la température, des capacités de nettoyage des particules et un débit élevé. Inova est conçu pour traiter jusqu'à 4 "de substrats de plaquettes avec une température maximale de 1.100 ° C dans une atmosphère inerte. Il dispose d'un puissant système de chauffage par induction à basse dépression capable d'atteindre des vitesses de chauffage rapides sans risques de contamination causée par un ruissellement thermique. De plus, le robuste mécanisme de contrôle de la vitesse de chauffage linéaire assure une excellente uniformité de température dans toute la chambre. Les capacités de nettoyage des particules de NOVELLUS Inova sont assurées par la combinaison de plusieurs composants de nettoyage sous vide, dont une turbomachine et une pompe rotative mécanique, ainsi que par une combinaison de plusieurs filtres. Les capteurs combinés efficaces dans la chambre améliorent encore la capacité de nettoyage des particules. Inova offre un excellent débit avec ses temps de cycle rapides et sa faible empreinte. Le logiciel d'exploitation très raffiné permet à l'utilisateur de programmer n'importe quelle séquence d'opération et paramètres, rendant la fabrication de grands volumes de composants une tâche simple. En plus de sa facilité de fonctionnement et de ses performances fiables, NOVELLUS Inova offre un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles que la construction de chambres à vide à double paroi pour la sécurité et la gestion efficace de l'énergie, les systèmes de refroidissement des gaz, les mécanismes de protection contre les défaillances et les éléments de protection thermique. Inova est une chambre de réaction très polyvalente et fiable avec un large éventail d'applications. C'est un outil inestimable pour le traitement des matériaux et offre une solution robuste pour manipuler les substrats dans des processus thermiques exigeants.