Occasion NOVELLUS Inova #9284588 à vendre en France

NOVELLUS Inova est un outil utilisé dans la production à haut volume de circuits intégrés. Il s'agit d'un outil de dépôt physique en phase vapeur (PVD) multi-plaquettes à base de plasma de haute précision qui permet des capacités de dépôt avancées pour la fabrication de plaquettes. L'équipement est équipé d'une tête de douche et de capacités de traitement à haute élévation de la source, et est conçu pour permettre un dépôt de produit avancé avec une uniformité de dépôt améliorée, un contrôle d'épaisseur exceptionnel, et des performances de haut débit. Le système se compose d'un corps central qui abrite plusieurs composants, dont une tête de douche, un moteur de dépôt de film bas, un moteur de chute arrière bas-k, une source de levage élevé, des chambres de traitement et un épurateur. La tête de douche comprend une chambre de mélange avec une seule entrée et plusieurs sorties d'échappement. Il dispose également de plaques de diffusion de gaz réglables et d'une buse réglable pour assurer un contrôle optimal du processus. Le moteur de dépôt de couches basses fonctionne de concert avec la source de levage élevé pour fournir des capacités de dépôt de couches supérieures. Sa technologie de contrôle multi-zones assure le dépôt précis de différents films minces de faible k, en obtenant les propriétés recherchées y compris une conductivité électrique élevée, la stabilité mécanique, et pas de trous de pince ou de défauts de film. Le moteur de chute arrière basse-k fonctionne en conjonction avec la tête de douche pour déposer les gouttes arrière basse-k. Ceci assure une isolation efficace du dispositif et permet une lithographie avancée. La source de levage élevé est responsable de la réalisation des processus de pré-fabrication et de post-fabrication. Il est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées, y compris une unité d'injection de procédé et une machine de réglage d'uniformité. La source haute élévation fonctionne en mode haute vitesse pour assurer des performances de haut débit. Les chambres de traitement de l'outil sont équipées de sources multiples et d'une torche à plasma pour permettre des taux de dépôt élevés. L'épurateur travaille en tandem avec les chambres de procédés pour éliminer les contaminants chimiques, en veillant à ce que l'actif respecte les normes environnementales et sanitaires. Inova est idéal pour la fabrication de plaquettes, permettant le dépôt de couches minces de faible k avec d'excellentes performances. La capacité de traiter plusieurs plaquettes à la fois augmente le débit et élimine le besoin de basculement fréquent de l'équipement. Il en résulte une réduction des temps d'arrêt et une augmentation de l'efficacité de la production. En outre, le modèle offre une précision et une fiabilité supérieures, ce qui en fait un choix idéal pour les environnements de production à haut volume.