Occasion NOVELLUS Inova #9384622 à vendre en France
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NOVELLUS Inova est un réacteur de dépôt conçu pour faciliter le dépôt de couches minces de haute qualité pour des applications semi-conductrices. Inova combine des rapports d'aspect élevés, une grande précision et un contrôle de flux supérieur afin de produire des films de la plus haute qualité de la manière la plus efficace. Le réacteur est conçu avec une configuration à double chambre qui permet aux utilisateurs de déposer des films aussi minces que 5 nm. NOVELLUS Inova possède un mandrin électrostatique exclusif qui empêche les particules et les débris de s'accumuler pendant le dépôt. Cela réduit le risque de contamination et améliore l'uniformité des plaquettes. Inova utilise également un design unique de deuxième chambre. Ceci permet un contrôle précis du flux à différents niveaux de température et de pression pour créer une uniformité supérieure sur la plaquette et augmenter la performance du film déposé. Le réacteur est également conçu avec une technique de dépôt à base de plasma qui permet un contrôle précis de la vitesse de dépôt et augmente la fiabilité des performances des films. NOVELLUS Inova peut être utilisé dans divers procédés de dépôt, notamment le dépôt thermique chimique en phase vapeur (TCVD), le dépôt par couche atomique (ALD) et le dépôt physique en phase vapeur (PVD). En outre, Inova a un certain nombre d'autres caractéristiques qui en font un outil de dépôt puissant et polyvalent. Son logiciel de contrôle avancé permet un contrôle précis et répétable des variables de processus. NOVELLUS Inova dispose également d'un système de soufflet réglable qui produit des vitesses de dépôt égales et une uniformité à travers la plaquette. Le réacteur dispose également d'un système de contrôle optique sophistiqué qui vérifie en permanence l'intégrité du film déposé. Dans l'ensemble, Inova est un réacteur de dépôt avancé qui fournit des performances et des rendements supérieurs. Sa conception à double chambre assure un dépôt fiable et cohérent, et son système de soufflet réglable assure uniformité et précision. NOVELLUS Inova est un outil puissant qui fait confiance aux industries des semi-conducteurs dans le monde entier pour fournir un dépôt de couches minces de haute qualité.
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