Occasion NOVELLUS Inova #9390623 à vendre en France

Le réacteur NOVELLUS Inova est la dernière plate-forme de réacteur avancée conçue pour permettre le dépôt de films ultra-finis. Il utilise un équipement unique et intégré de contrôle de processus en boucle fermée, alimenté par le logiciel NOVELLUS ALETA, qui permet un contrôle précis sur l'ensemble du processus de dépôt. Ce système de pointe permet à l'utilisateur de définir avec précision les paramètres du film, notamment la vitesse de dépôt, l'homogénéité des zones et la contrainte du film, afin d'optimiser les performances du substrat. Le réacteur Inova utilise une torche à cathode froide pour générer un plasma ionique réactif, ainsi qu'une source radio fréquence haute fréquence pour délivrer un gaz ionisé uniforme, et une source d'impact électronique haute performance avancée pour créer un flux libre d'ions. Le porte-aimant intégré permet aux utilisateurs de produire des procédés plus cohérents et reproductibles par rapport aux seuls procédés électrostatiques. L'unité intégrée de distribution de gaz actif est capable de contrôler avec précision le débit et la composition du gaz, ce qui permet d'améliorer l'homogénéité et la répétabilité du film. Le réacteur NOVELLUS Inova dispose également d'un module de régulation de pression unique qui assure une stabilité et une uniformité accrues de la température, ce qui améliore la qualité du film. En plus des capacités avancées de contrôle des procédés, le réacteur Inova dispose également de plusieurs protocoles de sûreté innovants. Avec le capteur anti-explosif intégré, les utilisateurs sont protégés contre les atmosphères explosives à l'intérieur de la chambre. Une machine d'arrêt automatique empêche les étincelles à haute pression qui peuvent entraîner des dommages potentiels à la chambre. Les dispositifs de protection des chambres améliorés comprennent une meilleure gestion du flux de chaleur et le contrôle de la puissance, offrant une plus grande stabilité thermique et le refroidissement. Le réacteur NOVELLUS Inova est une plate-forme avancée conçue pour répondre aux besoins des processus de dépôt les plus exigeants. En fournissant un contrôle avancé des procédés, des protocoles de sécurité améliorés et une stabilité thermique optimale, le réacteur Inova permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats supérieurs à ceux des plates-formes de réacteur précédentes. Avec le réacteur NOVELLUS Inova, les utilisateurs peuvent obtenir les résultats souhaités en des temps de traitement plus courts, des débits plus élevés et une meilleure qualité de film.