Occasion NOVELLUS Inova #9399582 à vendre en France

NOVELLUS Inova est un réacteur conçu pour le dépôt et la gravure de matériaux semi-conducteurs. Il est basé sur la technologie Inductor-Coupled Plasma (ICP), utilisant la puissance haute fréquence pour la production de plasma. Ce réacteur offre une excellente uniformité de procédé pour diverses applications, y compris les procédés de repli, de descente et de métal barrière. Inova utilise des fonctionnalités matérielles et logicielles uniques pour assurer une uniformité de processus cohérente avec un degré élevé de variabilité. Le matériel de NOVELLUS Inova comprend une inductance de haute puissance à commande ICP de forme cylindrique, capable de produire des arcs haute fréquence, tout en utilisant la haute tension pour générer un plasma. Inova utilise également un générateur RF linéaire avec un accent sur le contrôle de la densité du plasma, tout en offrant une uniformité dans les processus de gravure. De plus, NOVELLUS Inova comprend un « tambour à plasma », un dispositif innovant en matériau graphite avec des électrodes noyées qui créent un plasma uniforme sur toute la surface du substrat en cours de traitement. Cela aide à minimiser la non-uniformité au niveau de la source, ainsi qu'à prévenir la charge. De plus, le tambour à plasma permet un espacement optimisé entre le générateur de plasma et l'électrode factice, ce qui garantit une énergie ionique élevée et donne de meilleurs résultats de processus. En termes de logiciels, Inova utilise plusieurs fonctionnalités pour améliorer encore l'uniformité. Ces caractéristiques sont conçues pour optimiser le contrôle du processus en surveillant la surface du substrat et en ajustant la sortie d'énergie du plasma afin d'obtenir les résultats souhaités. De plus, NOVELLUS Inova exploite également les technologies de détection Endura et Kinetic Sputter Index pour mesurer avec précision les paramètres de retrait local. Grâce à une combinaison de contrôle de processus en temps réel et hors ligne, Inova est capable d'obtenir une précision et une répétabilité de sous-microns sur toutes les applications. En conclusion, NOVELLUS Inova est un réacteur puissant basé sur la technologie ICP, offrant une excellente uniformité de processus dans diverses applications. Avec ses caractéristiques matérielles et logicielles uniques, Inova offre une précision, une précision, une répétabilité et une variabilité inégalées pour les processus de gravure, de descente et de métal barrière.