Occasion NOVELLUS / LAM Sabre Next 200 #293590631 à vendre en France

NOVELLUS/LAM Sabre Next 200 est un réacteur à dépôt chimique à basse pression (PE-LPCVD) optimisé pour la fabrication de circuits intégrés (IC). Il est conçu pour permettre des débits de traitement allant jusqu'à 200 plaquettes/heure avec une capacité de chargement de 200 plaquettes. Il dispose d'une chambre de gravure multi-zones basse pression pour la gravure contrôlée du silicium polycristallin et d'autres matériaux avec des couches constantes diélectriques élevées. LAM Sabre Next 200 utilise une taille de plaquette de 4 po et est basé sur la plate-forme Ultima, avec des alimentations électriques en courant continu améliorées et une technologie d'adaptation de chambre améliorée. Le matériel de livraison et de contrôle du gaz a été conçu pour permettre le dépôt efficace de matériaux de haute qualité. La chambre de procédé est équipée d'un plateau tournant et d'une technologie à ultrasons, ainsi que d'un système laser de précision pour permettre une gravure uniforme et de haute qualité des plaquettes. NOVELLUS Sabre Next 200 offre également une précision de contrôle haute altitude, avec un codeur 12 bits permettant une résolution de 0,2 micron au niveau de la plaquette. Il dispose d'un plateau de refroidissement en option pour permettre le développement de matériaux critiques en température. De plus, le réacteur peut être configuré avec des étages de chauffage thermoplastique ou céramique avec une plage de température allant jusqu'à 600 ° C Sabre Next 200 présente deux procédés de gravure distincts, à savoir le PE-LPCVD et l'oxydation par éblouissement. La version Plasma Enhanced utilise de l'oxygène, de l'azote et/ou du silane pour contrôler le taux de gravure. Le processus d'oxydation par décharge brillante permet des taux de dépôt de silicium polycristallin dopé plus élevés et un contrôle d'épaisseur optimisé. NOVELLUS/LAM Sabre Next 200 est également équipé d'une machine de sauvetage métallique brevetée in-situ, qui permet un meilleur contrôle des processus. L'outil de contrôle avancé du Sabre Insight 200 permet aux opérateurs de surveiller les paramètres du processus en temps réel. Cet actif HMI avancé est intégré à une vaste bibliothèque de recettes et peut être adapté aux technologies futures. En outre, le réacteur est conçu avec une architecture ouverte, ce qui lui permet de s'intégrer facilement aux systèmes existants de gestion de la production et de conception automatisée. LAM Sabre Next 200 est un réacteur innovant et de pointe, parfait pour la production d'IC à haut volume. Il est conçu pour permettre des niveaux élevés de débit de processus avec une gravure diélectrique de haute qualité pour les matériaux dépendants du processus. NOVELLUS Sabre Next 200 fournit un modèle de commande avancé et flexible, permettant une intégration facile avec les systèmes de contrôle d'installation existants et offrant une excellente occasion d'augmenter l'efficacité de production.