Occasion NOVELLUS Sabre 3D #9179871 à vendre en France

NOVELLUS Sabre 3D est un réacteur révolutionnaire de traitement des semi-conducteurs qui combine deux technologies clés : le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt en couche atomique (ALD). Il est conçu pour faciliter la fabrication de couches ultra-minces de matériaux utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement offre une précision et un contrôle inégalés dans les processus de dépôt, réduisant considérablement les temps de cycle et autres coûts de processus qui peuvent avoir une incidence sur le rendement. Sabre 3D fournit un processus rapide, fiable et répétable en utilisant la combinaison de CVD et ALD pour les opérations de dépôt et de gravure. Il utilise une source de gaz à haute puissance, composée d'oxygène et de divers autres gaz inertes, pour créer un environnement « monochromatique » et « superclean ». Ceci permet de réaliser des films ultra-minces sans défauts de surface ni contamination, assurant ainsi un contrôle exceptionnel du processus de dépôt. Le réacteur NOVELLUS Sabre 3D se compose de trois modules de base : un générateur de plasma, une chambre et une alimentation électrique. Le générateur de plasma est une unité hyperfréquence qui génère un plasma pyrogène non thermique. Ceci est responsable de l'activation moléculaire et du dépôt de couches minces sur le substrat. La chambre est une enceinte étanche sous vide abritant les parties plasma et réacteur du système. Il est conçu pour maintenir un environnement uniforme et propre afin de maintenir un processus répétable. Le bloc d'alimentation fournit le courant électrique correct pour allumer et maintenir le plasma. Le réacteur Sabre 3D a une plage de température étendue (de 90 ° C à 500 ° C), ce qui lui permet d'être utilisé pour de multiples procédés. Il dispose également d'une automatisation et de contrôles avancés, y compris une unité optique intégrée de haute précision pour la surveillance in situ des processus. Cela aide à cerner rapidement les problèmes de processus et à fournir une rétroaction rapide pour l'amélioration des processus. Enfin, le réacteur NOVELLUS Sabre 3D dispose d'une connexion facile à n'importe quelle machine de contrôle de processus. Cela permet la collecte, l'analyse et l'optimisation des processus pour un maximum de temps de disponibilité et de rendement. Le réacteur Sabre 3D est efficace, économique et offre des caractéristiques de dépôt fiables et reproductibles. C'est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs de haut volume et de haute qualité.