Occasion NOVELLUS Sabre XT #293713734 à vendre en France
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ID: 293713734
System
(5) PC:
(3) Node computers
Proteus computer
Chase computer
Does not include Hard Disk Drive (HDD).
NOVELLUS Sabre XT est un réacteur constitué d'une source de plasma à couplage inductif (ICP), d'une chambre de réaction et d'alimentations en gaz réglables pour contrôler précisément l'environnement du procédé. La source du PIC utilise l'énergie RF pour produire de multiples panaches plasmatiques de gaz de procédé qui se diffusent à l'extérieur de la source de manière uniforme. La source du plasma est très réglable, ce qui permet de l'adapter aux exigences des différents processus plasmatiques. La chambre de réaction est capable de régler rapidement et précisément le gaz et la pression, permettant un contrôle précis de l'environnement du procédé. Ce réacteur est bien adapté à de nombreux procédés tels que la CVD, la PECVD et la gravure plasma. NOVELLUS SABREXT est un réacteur flexible et très efficace. Il est capable de résister à une large plage de température, ce qui lui permet d'être utilisé pour des procédés nécessitant une large plage de température. De plus, l'utilisation d'une alimentation RF réglable permet un contrôle précis de la densité d'énergie du plasma. Ceci permet des procédés impliquant le dépôt de couches minces de différents matériaux, tels que l'oxyde de silicium et le nitrure de silicium, sur des substrats. Cette caractéristique permet également une gravure plasma plus efficace et le nettoyage des substrats. Le réacteur Sabre XT est également équipé d'une variété de dispositifs de sécurité pour protéger l'utilisateur et l'équipement. Il est conçu pour fonctionner dans une plage très stricte de températures et de pressions et peut rapidement s'arrêter en cas d'erreur de processus ou de dysfonctionnement. En outre, il est également équipé de capteurs de débit de gaz, permettant des réglages rapides et précis de l'environnement du processus. Cela garantit que tous les gaz potentiellement dangereux sont rapidement évacués de la chambre avant qu'ils ne puissent causer des dommages. Dans l'ensemble, le réacteur SABREXT est un réacteur très efficace et fiable pour de nombreux procédés à base de plasma. Son alimentation RF réglable permet un contrôle précis de la densité d'énergie du plasma et ses caractéristiques de sécurité apportent une tranquillité d'esprit supplémentaire. La variété de matériaux et d'options de procédé font du réacteur un choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs. De plus, la capacité de réajuster rapidement l'environnement du procédé garantit que le procédé reste sûr et que tout panache potentiel de gaz dangereux est rapidement évacué de la chambre.
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