Occasion NOVELLUS Sabre XT #9104570 à vendre en France
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Vendu
ID: 9104570
Cu Plating system
(2) Computers
HDD
CDS (Chemical delivery system): ATMI
Missing parts:
Chemical circulation pump
DC Power supply
CMS Unit
Chiller
Lifter controller
ATMI MCS P/N: 10-6016-00
(2) ATMI MDS P/N :10-5030-00
BDI: No
ECI QLC-7000
NESLAB HX-75A
BROOKS Aqua Tran TM 7
2003 vintage.
NOVELLUS Sabre XT, conçu et fabriqué par Lam Research Corporation, est un réacteur de nouvelle génération de dépôt de couche atomique (ALD). NOVELLUS SABREXT est un concept révolutionnaire dans la fabrication de plaquettes, permettant le dépôt de couches minces en couches extrêmement précises et uniformes. ALD est utilisé dans des industries de haute précision telles que les semi-conducteurs et les optiques haut de gamme, et Sabre XT est optimisé à ces fins. L'architecture centrale de SABREXT repose sur un design ALD (PEALD) amélioré par plasma, qui lui permet de relever des défis uniques dans les environnements de fabrication avancés d'aujourd'hui. Le réacteur est équipé d'une gamme de capacités de processus telles que le contrôle de la température en plusieurs étapes, des taux de dépôt élevés et la livraison de précurseurs chimiques. Il peut également répondre aux exigences de processus standard tels que le recuit thermique et ultraviolet, le revêtement de spin et le recuit au solvant. NOVELLUS Sabre XT est conçu pour fournir des résultats de dépôt précis et reproductibles. Sa source de plasma contrôlée de précision varie de 500 à 5000 watts, et son système de régulation de température distribué permet une homogénéité de température précise entre les plaquettes. De plus, sa buse de haute précision permet un contrôle précis de la délivrance des précurseurs chimiques. En fin de compte, NOVELLUS SABREXT offre également des temps de cycle très réduits et des débris réduits, sans compromis sur la qualité. Sa conception flexible et ses vitesses de traitement élevées permettent de raccourcir les délais de commercialisation des produits. Ses systèmes avancés de contrôle des procédés permettent un meilleur rendement et une réduction des coûts matériels, et ses systèmes de surveillance automatisés réduisent l'intervention manuelle pendant la fabrication. En conclusion, le réacteur ALD Sabre XT offre des avantages significatifs aux industries des semi-conducteurs et de l'optique, avec sa gamme complète de fonctionnalités et de capacités avancées. Il fournit la précision et la précision comme aucun autre système ALD sur le marché aujourd'hui, permettant des délais plus courts produit-à-marché et des débris réduits, sans aucun compromis sur la qualité.
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