Occasion NOVELLUS Sabre XT #9146195 à vendre en France

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Fabricant
NOVELLUS
Modèle
Sabre XT
ID: 9146195
Cu Auto electroplater Electrical: 208v/100a (Full load) (1) Plating cell With activetTop hat mod (3) Post-plating cells With N2 and H2SO4 clean and EBR mod (2) Cassette stages 300mm FOUP (Fixload V6, Firmware V3.33) (3) Lift controllers: SEL-G-3-AC-200B.200B-EU (3) Spin controllers: Baldor vector (3) Pump controllers: Baldor vector Robot: BROOKS Aquatran 7 (Model 002-7090-02) Dosing: Bulk CuSO4 With totalizer (3) On-board additives with totalizer Chem analysis: TECHNICS RTA Model RTA-F RTA Software version 2.50 rev W 25 Nov 2003 RTA Driver rev 2.02 SS 9 Jun 2003 Interface version: 1.06 7 Oct 2003 Computer OS: Windows NT GUI: Proteus Rev 2.17 Build 18.
NOVELLUS Sabre XT est un équipement monocouche multi-réacteurs conçu pour répondre aux besoins intensifs de l'industrie de fabrication de dispositifs à très grande échelle. Avec IGBT, MOSFET, GaN ou d'autres appareils, NOVELLUS SABREXT a la capacité de livrer la performance optimale à travers un large éventail de grandeurs de gaufrette, dans une variété de processus jusqu'à et en incluant le dernier 3DIC l'emballage avancé. Sabre XT bénéficie d'une conception brevetée multi-réacteurs, qui permet de réaliser plusieurs procédés de dépôt, de gravure et d'implantation en un seul outil. La conception innovante du réacteur permet le traitement parallèle des plaquettes sans contamination croisée, et le fonctionnement simultané de plusieurs outils de traitement. En plus de fournir un débit plus élevé sur une seule plaquette, SABREXT peut gérer plusieurs plaquettes dans une seule recette. Cette approche de fabrication hybride permet une production par lots avec la flexibilité des performances monobloc. NOVELLUS Sabre XT dispose d'un système de vide multi-zones avancé qui permet un environnement contrôlé dans toutes les zones de la chambre, y compris le contrôle de la température et de la pression. Cette fonction est conçue pour optimiser la vitesse de traitement, avec plusieurs zones de vide pour réduire la contamination et réduire le temps nécessaire aux opérations de pompage. NOVELLUS SABREXT est également équipé de systèmes de surveillance avancés, y compris des outils logiciels qui surveillent tous les aspects du processus, y compris la pression du gaz, la température de la plaquette, la pression de la chambre, et plus encore. La surveillance permet une évaluation rapide et précise de l'état du réacteur avant et pendant le traitement. Enfin, Sabre XT est conçu pour fournir une plate-forme idéale pour les niveaux de dépôt avancés, y compris HDP, CVD, ALD, PECVD, et plus encore. Avec sa configuration multi-réacteurs, SABREXT est capable de répondre aux besoins de dépôt les plus exigeants et d'offrir une homogénéité et une répétabilité exceptionnelles. En conclusion, NOVELLUS Sabre XT est conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de fabrication de dispositifs à très grande échelle. Avec sa conception brevetée multi-réacteurs, son unité de vide multizone avancée et ses systèmes de surveillance avancés, NOVELLUS SABREXT est capable de fournir une solution complète pour un large éventail d'applications. Pour les fabricants qui ont besoin d'une machine de dépôt multi-réacteurs performante, Sabre XT est la solution idéale.
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