Occasion NOVELLUS Sabre XT #9183435 à vendre en France

NOVELLUS Sabre XT Reactor est un réacteur robuste et performant pour les applications de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il est idéal pour la fabrication avancée de plaquettes qui comprend des géométries de dispositifs améliorées et des exigences exigeantes de dépôt de métal. NOVELLUS SABREXT Reactor est un système CVD à double zone, à paroi chaude, hautement productif, doté d'une technologie de source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR). Cette technologie produit une distribution plasma très uniforme pour assurer des couches uniformes et des profils dopants avancés indépendants de la taille du substrat. Le réacteur Sabre XT garantit des taux de croissance rapides et permet des temps de mise en place de processus rapides. Le réacteur SABREXT est conçu pour répondre aux exigences de processus les plus exigeantes, ayant été conçu pour un contrôle et une répétabilité exceptionnels. Il dispose de techniques avancées de contrôle de processus telles que le contrôle de pression à double zone, la direction basée sur la recette, et la caractérisation spectroscopique in situ permettant le contrôle de processus le plus précis et efficace. Le réacteur NOVELLUS Sabre XT offre une homogénéité supérieure pour la tolérance dimensionnelle avancée des dispositifs, et une excellente qualité d'oxyde en permettant l'optimisation des procédés au-delà des limites de la conception des réacteurs classiques. Il permet un contrôle exceptionnel de l'épaisseur de la couche, de la douceur et de l'homogénéité de la composition sans compromettre le débit. De plus, NOVELLUS SABREXT offre un dopage double bout flexible avec des sources RF avancées et intégrées, et des mesures de température des plaquettes thermiques et optiques très fiables et rapides avec un contrôle serré. Toutes ces caractéristiques font du réacteur Sabre XT un excellent appareil pour la fabrication à haut volume des applications les plus avancées telles que la mémoire vive magnétique (MRAM), la mémoire vive dynamique (DRAM) et la mémoire non volatile (NVM). Le réacteur SABREXT est donc un choix idéal pour des procédés CVD de haut rendement et de haute qualité grâce à ses caractéristiques de pointe. Sa répétabilité supérieure des processus, l'uniformité et la précision améliorées du traitement des plaquettes font de NOVELLUS Sabre XT une solution hautement fiable et rentable pour des projets de prototypage difficiles.