Occasion NOVELLUS Sabre XT #9275235 à vendre en France

Le réacteur NOVELLUSMD NOVELLUS Sabre XT est un équipement de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) contrôlé avec précision qui permet aux clients d'effectuer un dépôt de films à haut rendement et précis sur un large éventail de matériaux. Le système a été spécialement conçu pour un dépôt optimisé en couches minces dans le domaine de la fabrication des semi-conducteurs. Le réacteur NOVELLUS SABREXT offre de nombreux avantages, comme un faible coût de possession, une productivité améliorée, une excellente flexibilité de conception et la cohérence des résultats des processus. L'unité est très précise avec un haut degré de contrôle et offre une gamme complète d'options de processus avec des systèmes à chambre simple et double. Le procédé CVD du réacteur Sabre XT est intégré à un certain nombre de caractéristiques telles que le préchauffage, le refroidissement et la détection intelligente. Le préchauffage est important pour régler correctement la température du substrat avant le déroulement du dépôt. La fonction de refroidissement permet de ramener rapidement le substrat à la température désirée après le dépôt. La détection intelligente du procédé permet à la machine de détecter, d'identifier et de contrôler avec précision les flux de gaz, assurant ainsi un dépôt précis et uniforme du film. Le réacteur dispose d'une conception unique de chambre de filtration qui contribue à minimiser l'introduction de particules dans la chambre de procédé. La chambre transversale permet également d'éviter la condensation des gaz de procédé qui sont condensés dans les hottes. L'outil a un processus en plusieurs étapes qui est optimisé pour le haut débit de plusieurs substrats. SABREXT dispose également d'une source de plasma avancée compatible avec un certain nombre de technologies d'élimination des gaz. La nouvelle source de plasma supporte le gaz source d'ultra-haute pureté, le débit de gaz d'échappement élevé et la pression d'échappement élevée de la source. Cela permet des taux de dépôt plus élevés, des densités de puissance plus élevées et une température efficace plus basse. En conclusion, le réacteur NOVELLUSMD NOVELLUS Sabre XT est un modèle CVD moderne et avancé qui permet d'obtenir des rendements plus élevés et des résultats cohérents dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. L'équipement présente des coûts de propriété faibles, une productivité accrue et des capacités de conception flexibles. Il est également équipé de fonctionnalités avancées telles que le préchauffage, le refroidissement et la détection intelligente. La conception de la chambre de filtration et la source de plasma spécialisée font de NOVELLUS SABREXT un ensemble complet pour des processus CVD fiables.