Occasion NOVELLUS Sabre #9285084 à vendre en France

NOVELLUS Sabre est un réacteur ultramoderne à haute performance conçu pour des applications avancées de gravure et de dépôt. Il est capable de fournir une homogénéité, une répétabilité, un rendement et une productivité supérieurs grâce à sa conception de processus innovante, ses matériaux avancés et son automatisation intelligente. L'équipement est basé sur une source de plasma à couplage inductif (PIC) à base d'hydrogène et d'argon, qui fournit une source de plasma homogène et non contrainte pour un débit maximal de production. La source du PCI est combinée à un réflectomètre à plasma in situ (ISPR) à configuration dynamique, qui permet d'obtenir des relevés de plasma précis et instantanés, ce qui permet une surveillance et une rétroaction en temps réel précises des processus de gravure et de dépôt. La conception de processus innovante de Sabre permet également de programmer jusqu'à six modules de processus simultanément dans le réacteur, chacun avec son propre ensemble de paramètres. Cela permet d'optimiser plusieurs étapes de processus avec une seule machine, par opposition à l'utilisation de plusieurs systèmes de processus au sein d'une seule chambre de processus. NOVELLUS Sabre dispose également d'une architecture de chambre flexible, permettant de le personnaliser pour une large gamme d'applications de gravure et de dépôt. La conception polyvalente de la chambre utilise différentes optiques à ouverture numérique, des porteurs de guides d'onde et des obturateurs de processus pour atteindre des taux de dépôt élevés et une faible génération de particules. Le système dispose également d'une unité de contrôle de processus modulaire, permettant aux utilisateurs de modifier et de mettre à niveau facilement leur machine de réacteur sans révision majeure des outils. En outre, les utilisateurs sont en mesure de profiter de sa suite diagnostique avancée et de son actif de maintenance prédictive, fournissant un aperçu des performances du modèle et maximisant le temps disponible. Enfin, les capacités d'automatisation avancées de Sabre permettent aux utilisateurs de programmer des processus reproductibles pour un débit élevé. En utilisant des algorithmes complexes, l'équipement peut concevoir et optimiser chaque recette de processus pour des rendements et un débit de production plus élevés, tout en réduisant les coûts et la consommation d'énergie. Dans l'ensemble, NOVELLUS Sabre est un système de réacteur avancé qui peut être adapté pour répondre aux besoins de toute application de gravure et de dépôt. Avec sa source de plasma haute performance, sa flexibilité de procédé et ses fonctions d'automatisation, Sabre est vraiment une unité de pointe, parfaite pour des applications de production à haut volume et à haut rendement.