Occasion NOVELLUS Sabre #9299039 à vendre en France

NOVELLUS Sabre est un réacteur de haute performance et de précision conçu pour déposer des matériaux en couches minces sur des substrats. Ce réacteur est utilisé dans le procédé de dépôt en couches minces utilisé dans la fabrication de micropuces, communément appelé « dépôt métallique ». Sabre est un outil avancé d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) qui permet aux fabricants d'obtenir un contrôle précis des matériaux déposés pendant le processus. La conception de NOVELLUS Sabre est basée sur le réacteur d'épitaxie à faisceau moléculaire à couverture linéaire de diméthyle (LDB-MBE). Cet équipement novateur élimine la nécessité d'une fenêtre d'entrée, ce qui entraîne des rendements plus élevés et une moindre contamination des particules. En outre, l'utilisation d'un système à double chambre garantit une plus grande stabilité et des taux de dépôt plus élevés. Sabre est construit à partir de deux chambres primaires : la chambre inférieure de traitement (LPC) et la chambre supérieure de traitement (UPC). Le LPC contient les pots de canon, les creusets et les matières premières de dépôt. Les pots de canon sont également connus sous le nom de sources hyperfréquences de résonance cyclotron électronique, ce qui crée les faisceaux atomiques très énergétiques qui sont dirigés sur la surface du substrat pour le processus de dépôt. Les creusets sont en alliage réfractaire et maintiennent les sources de liquide à l'intérieur d'eux. L'UPC se compose de l'écran de chauffage/refroidissement (écran H/C), du porte-substrat et de la ligne d'échappement. L'écran H/C est utilisé pour maintenir le contrôle de température du substrat pendant le processus de dépôt. Le porte-substrat a la capacité de tenir plusieurs plaquettes en même temps et de les niveler automatiquement pour un revêtement uniforme. La ligne d'échappement ajoute une commande supplémentaire, empêchant les débris et les gaz d'échappement d'entrer dans la zone de dépôt. Le réacteur NOVELLUS Sabre dispose également d'une zone de dépôt de quartz et d'un contrôle de la pression du creuset qui assure l'uniformité du dépôt de couches minces, créant des résultats reproductibles. Pour une sécurité maximale, une unité de gaz entièrement inerte (IGS) est incorporée, qui permet de réduire la présence de gaz nocifs, tels que l'ozone ou les hydroxydes, pendant le processus de dépôt. Le réacteur Sabre est un outil idéal pour les procédés avancés de fabrication de micropuces. La combinaison de la technologie la plus récente avec l'ingénierie de précision offre la capacité d'obtenir des résultats reproductibles ainsi que des films de dépôt de haute qualité et uniformes. Avec cette machine polyvalente, les fabricants peuvent récolter les avantages d'une précision, d'une sécurité et d'une efficacité de production accrues.