Occasion NOVELLUS Sabre #9299776 à vendre en France

NOVELLUS Sabre est un réacteur spécialement conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Il est utilisé pour le dépôt de matériaux en couches minces dans des circuits intégrés complexes et des systèmes micro-électriques-mécaniques (MEMS). Sabre est un procédé de type lot, ce qui signifie que l'utilisateur peut traiter un grand nombre de substrats à un moment donné, ce qui lui confère un grand avantage par rapport aux machines traditionnelles de type lot. Il s'agit d'un système fermé, doté de modules entièrement automatisés de distribution et de contrôle du gaz. NOVELLUS Sabre utilise un procédé de dépôt automatique à haute vitesse, multi-canons. Ce procédé permet de déposer sur des substrats de multiples couches de matériaux à couches minces, tels que des isolants, des métaux et des matériaux organiques. Sabre offre un contrôle précis du processus de dépôt, ce qui en fait un choix idéal pour les processus complexes. Le réacteur comporte deux chambres de procédés distinctes, dont une chambre haute température et une chambre basse température. La chambre haute température permet les températures extrêmes nécessaires pour les dépôts en couches minces et les dépôts chimiques en phase vapeur (CVD). La chambre basse température offre des températures plus modestes et peut être utilisée pour le sol-gel et le spin sur les processus. Le réacteur dispose également d'un système de chargement automatisé des plaquettes, qui assure un chargement précis et régulier des plaquettes sur le porte-substrat. Le porte-plaquettes chauffées est capable de maintenir précisément la température tout au long du processus de dépôt, assurant ainsi une performance optimale des plaquettes. L'ensemble du processus peut être contrôlé à travers le logiciel unique NOVELLUS, assurant des résultats précis à chaque fois. NOVELLUS Sabre a une conception unique à double buse qui permet deux processus de dépôt parallèles, qui peuvent être utilisés simultanément. Cette technologie garantit que les matériaux déposés répondent à toutes les exigences pour un dépôt correct. En outre, le réacteur est équipé d'une source d'effusion à haute température qui peut être utilisée pour des procédés complexes tels que le revêtement conforme et le dépôt de matériaux. En conclusion, Sabre est un réacteur puissant, efficace et très fiable capable de produire des dispositifs intégrés complexes et hautement fonctionnels. Il répond à toutes les exigences pour le traitement moderne des semi-conducteurs et offre un contrôle et une surveillance précis. En tant que tel, ce réacteur est un outil inestimable pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.