Occasion NOVELLUS Speed #9262058 à vendre en France

NOVELLUS Speed est une technologie de réacteur de pointe développée par NOVELLUS Systems, Inc. Il s'agit d'un réacteur haute performance conçu pour permettre des processus et une production plus rapides et plus rentables dans l'industrie avancée de la fabrication de semi-conducteurs. Ce réacteur utilise une méthode topographique avancée pour traiter les plaquettes de manière efficace pour augmenter le débit global. Le réacteur est composé d'une série de chambres de procédés, visant à fournir un débit plus élevé pour les procédés de fabrication les plus complexes disponibles aujourd'hui. Cela comprend des procédés tels que la planarisation chimique-mécanique (CMP), le dépôt de couches minces semi-conductrices, la gravure à base de buse, la gravure plasma et le nettoyage des plaquettes. Au cœur de Speed se trouve la technologie de transport des plaquettes en uniforme topographique (TUWM). Cette technologie utilise des systèmes de confinement précis combinés à un suivi automatisé des mouvements pour maintenir la plaquette en place dans la chambre. Ceci assure une forme de fixation constante pendant le processus de dépôt. De plus, la technologie de transport des plaquettes TUWM minimise les fluctuations au sein de l'indice d'uniformité, réduisant le besoin de nettoyage des chambres et la contamination potentielle des particules. Le réacteur NOVELLUS Speed utilise également une source de plasma radical (RPS) pour générer des plasmas optimisés pour les différentes exigences du procédé. Cela génère des plasmas puissants et efficaces pour permettre des processus à haute résolution. Le RPS intègre également une capacité de contrôle de puissance accordable, permettant au réacteur de s'adapter aux processus à l'intérieur de la chambre. Le réacteur Vitesse avancé utilise également un régulateur de température avancé pour assurer une uniformité constante à l'intérieur de la chambre. Cela garantit que les chambres de processus produisent des résultats cohérents tout au long des cycles de traitement. La combinaison de ces composants permet au réacteur NOVELLUS Speed de fournir un débit plus rapide et des rendements de produits plus élevés avec des coûts réduits. Dans l'ensemble, Speed est une technologie de fabrication révolutionnaire et avancée conçue pour augmenter le débit de fabrication. Ce réacteur repose sur l'application combinée de technologies de pointe, telles que le mouvement topographique uniforme des plaquettes, la source de plasma radical et le contrôle optimal de la température pour fournir des procédés de fabrication cohérents et de haute qualité. En conséquence, cette technologie permet une production plus rapide, plus efficace et plus rentable pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs.