Occasion NOVELLUS Speed #9272639 à vendre en France

NOVELLUS Speed est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haut débit spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa conception innovante permet des dépôts rapides en plusieurs étapes avec des fenêtres de processus étendues. Cela permet aux utilisateurs d'appliquer une grande variété de matériaux et de technologies de processus à la construction de circuits intégrés complexes. Le réacteur NOVELLUS Speed est conçu pour profiter des dernières avancées de la technologie CVD pour fournir un procédé de dépôt très efficace et fiable. Il contient une seule étape, magnétron haute vitesse enrichi source de plasma. Cette source utilise la fréquence variable et la puissance de crête élevée ainsi que les capacités d'appariement RF pour assurer un processus de revêtement contrôlé. Le réacteur NOVELLUS Speed est capable de déposer des concentrations élevées et de faibles concentrations de matériaux à Speed tout en assurant une uniformité sur toute la surface de la plaquette. Pour améliorer l'homogénéité des dépôts, le réacteur NOVELLUS Speed est équipé d'un dispositif de chauffage par substrat à deux étages. Ce réchauffeur travaille en tandem avec le magnétron pour maintenir une température uniforme dans toute la chambre du réacteur. Le premier étage chauffe le substrat jusqu'à la température de dépôt nécessaire, tandis que le deuxième étage chauffe pour ajuster la température au besoin. Pour améliorer la stabilité du procédé, le réacteur Speed est équipé d'un système de contrôle de processus multi-zones unique. Ce système ajuste automatiquement les niveaux de réactifs et d'autres paramètres du processus au besoin, afin d'optimiser le processus d'une manière qui n'a jamais été possible auparavant. La combinaison du système de contrôle de processus multi-zones et des diagnostics avancés permet d'effectuer des réglages à la volée sans interrompre le traitement. Le réacteur NOVELLUS Speed comprend également des systèmes avancés de distribution de réactifs qui permettent le dépôt rapide d'une large gamme de matériaux à des concentrations contrôlées. Ces vecteurs sont conçus pour fournir des concentrations exactes de réactifs rapidement et de manière reproductible. En outre, les vecteurs sont équipés d'une livraison séquentielle automatisée de réactifs qui permet des processus multi-étapes dans un seul outil. Le réacteur rapide est l'outil parfait pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il offre NOVELLUS Speed et est nécessaire avec souplesse pour construire rapidement des circuits intégrés extrêmement complexes, avec une répétabilité et une uniformité exceptionnelles. Avec sa conception innovante et sa technologie de pointe, le réacteur Speed est le meilleur choix pour ceux qui recherchent un procédé de dépôt CVD fiable et efficace.